概述
寬量程真空計(jì) (WRG) 系列在從大氣壓到 10-9 mbar 的壓力下提供單接口壓力測(cè)量結(jié)果，并且提供線性輸出。它是緊湊型的解決方案，所需空間和連接硬件均減少了一半，這對(duì)很多應(yīng)用來(lái)說(shuō)是重要的優(yōu)勢(shì)。WRG 具有很多新穎的特點(diǎn)，包括新的放電器、按鈕校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)控制和的診斷功能。WRG 是高效的真空管理解決方案，可以與 Edwards 控制器一起使用，也可以直接集成到系統(tǒng)控制中。 
應(yīng)用
- 任何需要在很寬的范圍內(nèi)測(cè)量壓力的真空系統(tǒng)。具有 AGD 的 WRG 代表一種用于實(shí)現(xiàn)此目標(biāo)的簡(jiǎn)單和極為高效的手段。
- 對(duì)于可能要將真空計(jì)直接集成到制程控制器中的工業(yè) OEM 而言，線性輸出和平衡使 WRG 成為一種富有吸引力的選擇。
- WRG 適合在多種 HV 和 UHV 應(yīng)用中使用。但是，如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之間花費(fèi)的時(shí)間多，Edwards 建議采用獨(dú)立的 APG100 皮拉尼真空計(jì)和 AIM 潘寧真空計(jì)，因?yàn)檫@樣將提高真空計(jì)在應(yīng)用中的性。
功能和優(yōu)勢(shì)
- 微處理器信號(hào)處理允許在皮拉尼和磁控管輸出以及線性輸出之間無(wú)縫轉(zhuǎn)換（記錄壓力刻度）
- 自動(dòng)為皮拉尼真空計(jì)元件進(jìn)行真空設(shè)置
- 單一按鈕大氣設(shè)置
- 可輕松編程的設(shè)定點(diǎn)涵蓋整個(gè)測(cè)量范圍
- 磁控管使用的進(jìn)行高度的放電，即使在高真空或相對(duì)污染的環(huán)境下也無(wú)妨
- 通過(guò)降低點(diǎn)火后的 HT 電壓以及采用低放電電流，延長(zhǎng)了維修間隔和真空計(jì)壽命
- 結(jié)構(gòu)極為緊湊，采用凹進(jìn)式電氣接頭
- 易于維修；皮拉尼和磁控管元件均可以單獨(dú)更換
- 綜合性故障模式診斷裝置
- D 型包括電纜應(yīng)變消除和增強(qiáng)的灰塵防護(hù) (IP44)
數(shù)據(jù)
| 壓力范圍 | 大氣壓至 10-9 mbar/Torr |
| 準(zhǔn)確度 | 通常為 ±15% <100 mbar 以及 ±30%<10-3 mbar |
| 大過(guò)壓 | 6 bar (87 psia) |
| 電源供給 | +14.5 至 +36 V 直流 |
| 功耗 | 2 W（大） |
| 輸出信號(hào) | 1.8 至 10.2 V 直流 |
| 調(diào)節(jié) | 大氣壓和設(shè)定點(diǎn) |
| 設(shè)定點(diǎn) | 開(kāi)路集電極晶體管 |
| 大電壓 | 40 V 直流 |
| 電流 | 100 mA 大 |
| 溫度范圍 | |
| 工作 | +5 至 +60 oC |
| 存儲(chǔ) | 0 至 +70 oC |
| 暴露于真空中的材料（NW 和 CF 型） | 不銹鋼（AISI 304、316、321、347）、氟橡膠、鈉鈣玻璃、鎢、微量鎳和鎳鐵 |
| 內(nèi)部體積 | 26 cm3 |
| 重量 | 0.8 kg |
| 外部接口連接器 | 8 路 FCC68/RJ45 插座 |
| 接口電纜 | 有源真空計(jì)電纜的使用范圍 |
| 標(biāo)準(zhǔn) | |
| 電磁兼容性 | EN 61326 工業(yè)地點(diǎn)，B 類(lèi)排放 |
| 機(jī)箱等級(jí) | IP40 |
| 針腳分配 | |
| 1.電源供給正極 | 5.信號(hào)共用 |
| 2.電源供給共用 | 6.設(shè)定點(diǎn)輸出 |
| 3.壓力表輸出 | 7.大氣壓校準(zhǔn) |
| 4.壓力表標(biāo)識(shí) | 8.未連接 |
準(zhǔn)確度在測(cè)量范圍極限處會(huì)降低。
圖中未顯示
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