概述
我們強烈建議僅使用等級和質量的液體和密封劑，以便使 Edwards 產(chǎn)品保持高性能。如果使用劣質材料，可能會導致泵或系統(tǒng)效率降低、設備部分或故障以及嚴重的漏氣。我們認為在許多嚴苛的應用中，使用性未經(jīng)驗證的液體和密封劑反倒不。我們的液體和密封劑均經(jīng)過正規(guī)實驗室檢測。而且，我們通過自行使用這些材料，以及通過與出現(xiàn)非典型問題的用戶保持密切聯(lián)系，獲得了相當豐富的現(xiàn)場經(jīng)驗。許多的設備性能不佳問題終都是由于使用了不適當或不合格的液體和密封劑而造成的，因此我們鄭重勸告您為應用選擇正確的液體和密封劑。
基于礦物的材料
這些材料包括旋轉泵油、Diffstak 以及擴散泵油和油脂。它們可針對不同的應用選用添加劑。
基于硅的材料
這些材料用于 Diffstak 以及擴散泵液體和油脂。它們由二甲基硅氧烷或苯基甲基硅氧烷構成。
有機化合物
這些材料包括受阻酯類、苯基醚類和基于萘的化合物。它們適用于 Diffstak 和擴散泵，但在有些的應用中，也可以用作旋轉泵油。Edwards 可以對液體與特定應用之間的匹配提供建議。
氟化材料 (PFPE)
這些材料是全氟聚醚。全氟聚醚是一種氟化的材料，沒有其他鹵素和氫，因此對要求不含碳氫化合物的情況有價值。它會對 UF6、F2、O2、O3 等大多數(shù)活性化學物質保持惰性，并且在暴露到電子和大多數(shù)離子輻射中時不會發(fā)生聚合反應。全氟聚醚液體提供適用于旋轉泵的等級。還提供低蒸汽壓力的 Fomblin® 油脂 (AR555)，該油脂同時具有良好的潤滑特性和的真空特性。
用于半導體應用的 PFPE
在侵蝕性制程條件會快速破壞普通碳氫化合物泵油的應用中，全氟聚醚 (PFPE) 化合物用量將出現(xiàn)大量增長。這尤其適用于半導體制程中。PFPE 的防腐蝕特性和化學惰性可大大延長工作時間，減少換油和維修次數(shù)，為許多嚴苛的泵應用提供性價比的解決方案。以下為 PFPE 的基本特性及其在真空系統(tǒng)應用中
的優(yōu)勢：
說明：全氟聚醚是氟化物，如果暴露在 280 °C 以上的溫度下，將釋放出有毒蒸汽。請勿將 PFPE 暴露在明火中，并且工作場合禁止吸煙。
基于礦物的材料
這些材料包括旋轉泵油、Diffstak 以及擴散泵油和油脂。它們可針對不同的應用選用添加劑。
基于硅的材料
這些材料用于 Diffstak 以及擴散泵液體和油脂。它們由二甲基硅氧烷或苯基甲基硅氧烷構成。
有機化合物
這些材料包括受阻酯類、苯基醚類和基于萘的化合物。它們適用于 Diffstak 和擴散泵，但在有些的應用中，也可以用作旋轉泵油。Edwards 可以對液體與特定應用之間的匹配提供建議。
氟化材料 (PFPE)
這些材料是全氟聚醚。全氟聚醚是一種氟化的材料，沒有其他鹵素和氫，因此對要求不含碳氫化合物的情況有價值。它會對 UF6、F2、O2、O3 等大多數(shù)活性化學物質保持惰性，并且在暴露到電子和大多數(shù)離子輻射中時不會發(fā)生聚合反應。全氟聚醚液體提供適用于旋轉泵的等級。還提供低蒸汽壓力的 Fomblin® 油脂 (AR555)，該油脂同時具有良好的潤滑特性和的真空特性。
用于半導體應用的 PFPE
在侵蝕性制程條件會快速破壞普通碳氫化合物泵油的應用中，全氟聚醚 (PFPE) 化合物用量將出現(xiàn)大量增長。這尤其適用于半導體制程中。PFPE 的防腐蝕特性和化學惰性可大大延長工作時間，減少換油和維修次數(shù)，為許多嚴苛的泵應用提供性價比的解決方案。以下為 PFPE 的基本特性及其在真空系統(tǒng)應用中
的優(yōu)勢：
- 化學惰性：是泵送腐蝕性材料的理想選擇，尤其適用于半導體制程。
- 高抗氧化性：液體不會由于在工作溫度下反復暴露到空氣中而被破壞。
- 非易燃：無火災危險。
- 抗高溫：不會由于過熱而殘留焦油化合物。終減少氣態(tài)產(chǎn)物。
- 氧相容：可地泵送氧氣（經(jīng) NASA 批準的液氧系統(tǒng)）。對純氧建議的高工作溫度和壓力是 250 oC 和 91.4 kg cm-2 ，以及 60 oC 和 175.75 kg cm-2。
- 無聚合反應：暴露在高能粒子輻射下時不會發(fā)生聚合反應（氫離子除外）。這可以減少回流蒸汽的影響，在不能出現(xiàn)聚合反應的應用中（例如在電子顯微鏡中）是一項重要特性。
- 能與大多數(shù)常用溶劑混合：即使不使用氣囊，也可以泵送溶劑。
說明：全氟聚醚是氟化物，如果暴露在 280 °C 以上的溫度下，將釋放出有毒蒸汽。請勿將 PFPE 暴露在明火中，并且工作場合禁止吸煙。
應用
Edwards TW 是為液體要暴露在活潑氣體或腐蝕性氣體中的旋轉泵應用的：
- 蒸餾
- 半導體
- 化學泵
功能和優(yōu)勢
- 該油是蒸餾碳氫化合物，不含添加劑，但是已去除不飽和鏈和芳香鏈。因此，該油的持續(xù)時間多可達到精制礦物油的 20 倍，具體取決于制程。更長的油的使用壽命可減少換油次數(shù)。
數(shù)據(jù)
| 蒸汽壓力 mbar： | |
| 20°C | 1.3 x 10-6 |
| 100°C | - |
| 分子量 | 430 |
| 15°C 時的比重 | 0.860 |
| 粘度 cSt： | |
| 20°C 時 | 155 |
| 40°C 時 | 65 |
| 傾點 °C | -12 |
| 閃點 °C | 243 |
| 自燃點 °C | 270 |
| 含硫量百分比（質量/質量） | 0 |
25 °C 時的蒸汽壓力
采購中心
