概述
功能和優(yōu)勢(shì)
- 可就地拆除插板和連接機(jī)構(gòu),便于維修
- 由于采用真空焊制造,消除了泄漏
- 電氣拋光的內(nèi)外表面
- 具有高導(dǎo)電性的緊湊型設(shè)計(jì)
- 可長(zhǎng)期正常使用,很少需要維護(hù)
- 振動(dòng)和沖擊小
- 可自由選擇方向
數(shù)據(jù)
壓力范圍 10-9 mbar 至 1 bar() 8 x 10-10 - 750 Torr 泄漏值 < 10- 9 mbar l s- 1 8 x 10-10 Torr l s- 1 閥板上的大壓力差 1 bar / 750 Torr,在任一方向上 打開時(shí)閥板上的大壓力差 20 mbar/15 Torr 位置指示器開關(guān),分?jǐn)嗄芰? 24 V 直流,5 A 構(gòu)造材料 主體,閥板 AISI 304 不銹鋼 機(jī)構(gòu) AISI 304 不銹鋼, 軸承 淬硬高碳鉻鋼 簧環(huán) SS PH 15-7 鉬 波紋管 AM 350 不銹鋼 密封件,閥板 氟橡膠 閥蓋 金屬密封閥 OFHC 其他閥 氟橡膠 加熱溫度 閥體,閥打開 150 °C(氟橡膠閥蓋密封件) 閥體,閥打開 250 °C(金屬閥蓋密封件) 閥關(guān)閉 200 °C 執(zhí)行器,氣動(dòng) 100 °C **檢修前的平均壽命 100000 次關(guān)閉 固定位置 任何方向 氣動(dòng)工作壓力 4 - 5.5 bar / 60 - 80 psi 法蘭內(nèi)徑 100 mm 4 in 高真空中的電導(dǎo) 2000 l s-1 氣動(dòng)閥短關(guān)閉 和打開時(shí)間(5 bar 時(shí))。 1.5 s 大約重量 15 kg
取決于真空環(huán)境和打開及關(guān)閉速度。
| 壓力范圍 | 10-9 mbar 至 1 bar() |
| 8 x 10-10 - 750 Torr | |
| 泄漏值 | < 10- 9 mbar l s- 1 |
| 8 x 10-10 Torr l s- 1 | |
| 閥板上的大壓力差 | 1 bar / 750 Torr,在任一方向上 |
| 打開時(shí)閥板上的大壓力差 | 20 mbar/15 Torr |
| 位置指示器開關(guān),分?jǐn)嗄芰? | 24 V 直流,5 A |
| 構(gòu)造材料 | |
| 主體,閥板 | AISI 304 不銹鋼 |
| 機(jī)構(gòu) | AISI 304 不銹鋼, |
| 軸承 | 淬硬高碳鉻鋼 |
| 簧環(huán) | SS PH 15-7 鉬 |
| 波紋管 | AM 350 不銹鋼 |
| 密封件,閥板 | 氟橡膠 |
| 閥蓋 | |
| 金屬密封閥 | OFHC |
| 其他閥 | 氟橡膠 |
| 加熱溫度 | |
| 閥體,閥打開 | 150 °C(氟橡膠閥蓋密封件) |
| 閥體,閥打開 | 250 °C(金屬閥蓋密封件) |
| 閥關(guān)閉 | 200 °C |
| 執(zhí)行器,氣動(dòng) | 100 °C |
| **檢修前的平均壽命 | 100000 次關(guān)閉 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 氣動(dòng)工作壓力 | 4 - 5.5 bar / 60 - 80 psi |
| 法蘭內(nèi)徑 | 100 mm |
| 4 in | |
| 高真空中的電導(dǎo) | 2000 l s-1 |
| 氣動(dòng)閥短關(guān)閉 | |
| 和打開時(shí)間(5 bar 時(shí))。 | 1.5 s |
| 大約重量 | 15 kg |
取決于真空環(huán)境和打開及關(guān)閉速度。


















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