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產品簡介
產品特點產品參數一、產品介紹1、適合于檢測半導體特氣的微量泄漏
XP-703D氣體檢測儀詳細信息
- 產品特點
- 產品參數
-
一、產品介紹
1、適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。
2、采用聲光報警。
二、產品參數
型號
XP-703D
檢測對象氣體
半導體材料氣體（胂、膦、乙朋烷、硅烷、氫氣等）
檢測原理
熱線型半導體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度
（單位：ppm）砷烷磷烷乙朋烷硅烷氫氣
AsH3PH3B2H6SiH4H2
0.20.30.10.51.0檢測表示
蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應答速度
10秒以內
-
型 號
XP-703D
檢測對象氣體
半導體材料氣體（胂、膦、乙朋烷、硅烷、氫氣等）
檢測原理
熱線型半導體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度
（單位：ppm）砷烷 磷烷 乙朋烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0檢測表示
蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應答速度
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