設備型號

-CDS-N2601

設計基準

1.供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡稱：CDS

2. CDS 將設置于化學房內(nèi)：酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房；

3. 設備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材，內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì)；

4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點；

5. 過濾器：配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼；

6. 供液泵：每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進口隔膜泵；

7. Empty Sensor & Level Sensor：

酸堿類采用一般型靜電容近接開關；

8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。

CDS系統(tǒng)設備規(guī)格

1. 系統(tǒng)主要功能概述

設備主要功能：每種化學液體配兩個桶（自動切換）、配兩臺泵（一用一備）、帶過濾器；

系統(tǒng)控制單元：配帶OMRON 8”彩色觸摸屏，OMRON品牌PLC系統(tǒng)；

2. 操作模式：

CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行，

兼具自動化與親和力。

在自動模式情形下可自行達成供酸之功能。

在手動模式及維修模式底下可針對單一自動元件操作。

3. 設備結構：

（1）機架(Frame)：盤底SUS 方管50x50x1.5T 與機體以SUS 方管38x38x1.5T方管，全周焊架構而成，具有調(diào)整腳座。

（2）外觀：酸堿類系統(tǒng)的外觀以WPP 被覆。

（3） 箱體

(一) 箱體材質(zhì)型式

供腐蝕性化學品用之材質(zhì)為WPP/ 透明PVC。

(二) 閥體材質(zhì)型式

.供腐蝕性化學品用之材質(zhì)為PFA或PTFE。

(三) 泄漏偵測型式

采靜電容式或光電式，須能耐酸鹼之浸泡。

(四) 分流箱(VMB)必要設施說明

箱體外部須清楚標示其所輸送化學品之名稱與化學式。

4. 設備內(nèi)部空間規(guī)劃：

（1）配管區(qū)：管路流程整齊清楚，操作方便，具有防止噴濺及承接并排放泄漏功能。

（2）電控區(qū)：密封，可防止酸氣侵蝕電控元件。

（3）取樣區(qū)：取樣方便具有防止酸液噴濺及排放泄漏功能。

（4）桶槽區(qū)：方便更換桶槽，并有鏈條防止桶槽滑動，有正壓及排氣功能，保持區(qū)域內(nèi)之潔凈度，下方有排放泄漏功能。

5. 電控系統(tǒng)︰

（1）空間規(guī)劃︰與酸氣隔離的獨立空間并有N2 Purge 功能，從后方有寬大維修空間。

（2）重要元件︰

PLC: OMRON

GP: 10” OMRON Touch

Empty Sensor & Level Sensor:采用靜電容近接開關

6. 附屬裝置:

（1）排氣裝置︰每一個Unit 皆配備排氣裝置

（2）每一個Unit 皆配備一組DIW GUN.

7. 安全保護裝置:

（1）漏電斷電斷路保護裝置

（2）機臺底部漏液檢知裝置

（3）電控箱正壓裝置

（4）E.M.O.裝置

8. 適用條件:

所有設備均應滿足以下條件;

裝置場所: 室內(nèi)。

標高: 海平面1000 公尺以下。

環(huán)境溫度: 30℃，0℃，平均30℃。

相對濕度: 90 ﹪。

設備制造商

南通華林科納半導體設備有限公司 ；