低溫等離子體技術是近年發(fā)展起來的廢氣處理新技術，低溫等離子體處理廢氣的原理為：當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發(fā)生分解，以達到降解污染物的目的。

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|，或使有毒有害物質轉變?yōu)闊o毒無害或低毒低害物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在1eV～10eV，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得十分快速。
電場的設計使廢氣粒子的運動速度較低，一般在零點幾秒內便能使廢氣粒子荷上足夠的電荷，帶電粒子在電場中會受到電場力（庫侖力）的作用，其結果是油煙粒子被吸附到陽極上。因此凈化率非常高，而且特別適用于捕捉粒徑較小和重量較輕的廢氣粒子。