主要特點(diǎn)

• 高純度水質(zhì)：能夠制備出電阻率高達(dá) 18MΩ?cm 及以上的超純水，幾乎不含任何雜質(zhì)，如總?cè)芙夤腆w (TDS) 通常低于 1μg/L，無有機(jī)物污染、微生物和顆粒物，滿足微電子生產(chǎn)中對水質(zhì)的苛刻要求，例如在芯片制造過程中，用于清洗硅片，去除表面的微粒和污染物，確保芯片的質(zhì)量和性能 手機(jī)版。

• 自動化程度高：配備**的 PLC 控制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)全自動運(yùn)行，從進(jìn)水、預(yù)處理、反滲透、EDI 到終端精處理，整個過程無需人工干預(yù)，穩(wěn)定可靠。減少了人工操作，提高生產(chǎn)效率，降低人為錯誤風(fēng)險 。

• 維護(hù)簡便：設(shè)備的組件設(shè)計(jì)易于拆卸和清洗，如反滲透膜組件和 EDI 模塊采用模塊化設(shè)計(jì)，更換和清洗便捷。同時，配備在線監(jiān)測系統(tǒng)，實(shí)時監(jiān)控水質(zhì)參數(shù)，及時發(fā)現(xiàn)并解決問題，有助于延長設(shè)備使用壽命 。

• 適應(yīng)性強(qiáng)：可以根據(jù)不同用戶的具體需求定制解決方案，靈活調(diào)整工藝參數(shù)，適用于大規(guī)模的半導(dǎo)體生產(chǎn)線以及小型的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室等多種應(yīng)用場景 。