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Spicer主動消磁器-電鏡消磁器-電鏡電磁屏蔽系統(tǒng) SC26

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公司名稱廣州市固潤光電科技有限公司
品牌
型號SC26
所在地廣州市
廠商性質其他
更新時間2024/12/9 9:39:21
訪問次數(shù)160

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廣州市固潤光電科技有限公司是一家成立于2011年從事光電子高科技產品研發(fā)、生產及銷售的企業(yè)，2017年通過，主要面向國內外光電子企業(yè)以及國內各高校、科研院所提供優(yōu)質的產品和專業(yè)的項目服務。產品種類涉及各種工業(yè)和通信光電子器件，顯示器亮度色度及均勻性測試儀，LED燈、室內外照明測試儀器，JUST標準光源、燈箱，射頻測試儀，超快脈沖激光測試儀，半導體生產及檢測設備，主動消磁設備，主/被動隔振設備，太赫茲源，太赫茲光譜儀等。涉及工業(yè)自動化，信息自動化，光電子、光纖通訊、光纖傳感，工業(yè)激光、微電子和雷達與微波通信等領域。我司堅持"誠信為本，創(chuàng)新為先"的企業(yè)精神，深化技術創(chuàng)新，不斷超越，注重團隊建設，努力把公司建設成為國際的光電子產品提供企業(yè)。固潤光電以技術為軸心導向，通過與國內外廠商合作，積極開拓光電子領域市場，已經(jīng)取得廣大客戶的充分認可。我司有一支以碩士為核心的研發(fā)隊伍，引進、改造的技術，為國內的企業(yè)與科研單位提供國際技術的“固潤”方案。自成立以來，我司已取得了多項，我司緊緊依靠科技創(chuàng)新、自主研發(fā)、技術進步推動企業(yè)可持續(xù)發(fā)展，不斷提升產品的科技含量、附加值和。我司設置有專門的產品技術研究中心，擁有一支高素質的技術研發(fā)團隊以及*的儀器設備，保持對行業(yè)產品的高度敏銳度和觀察力，穩(wěn)步推進光電產品的開發(fā)創(chuàng)新，不斷提升企業(yè)的核心競爭力和持續(xù)發(fā)展的能力。我司將更加重視技術創(chuàng)新，服務創(chuàng)新、管理創(chuàng)新，依靠、規(guī)范經(jīng)營、科學化管理提高企業(yè)抗風險能力，從而進一步提升企業(yè)市場核心競爭力，打造固潤新輝煌。

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產品簡介在線詢價

針對晶圓廠內磁場改變時會使電子束產生偏折并造成影像解析度下降或影像扭曲。SC26主動式消磁系統(tǒng)能針對外部磁場動態(tài)變化提供穩(wěn)定的反向磁場以提升拍攝的影像品質。SC26是被優(yōu)化的第四代消磁系統(tǒng)，用于抵消在300mm晶圓廠中機器人晶圓傳輸?shù)母哳l場，通常在9kHz。SC26的工作原理與其他消磁系統(tǒng)類似。消磁方法是寬帶模擬負反饋。嵌入式微型計算機控制系統(tǒng)，對測量場進行數(shù)字化處理，但不屬于反饋回路。

Spicer主動消磁器-電鏡消磁器-電鏡電磁屏蔽系統(tǒng) SC26 產品信息

Spicer主動消磁器-電鏡消磁器-電鏡電磁屏蔽系統(tǒng) SC26，針對晶圓廠內磁場改變時會使電子束產生偏折并造成影像解析度下降或影像扭曲。SC26主動式消磁系統(tǒng)能針對外部磁場動態(tài)變化提供穩(wěn)定的反向磁場以提升拍攝的影像品質,SC26是被優(yōu)化的第四代消磁系統(tǒng)，用于抵消在300mm晶圓廠中機器人晶圓傳輸?shù)母哳l場，通常在9kHz。SC26的工作原理與其他消磁系統(tǒng)類似。消磁方法是寬帶模擬負反饋。嵌入式微型計算機控制系統(tǒng)，對測量場進行數(shù)字化處理，但不屬于反饋回路,SC26主動式消磁系統(tǒng)主要是由磁場控制器、一或兩個200 kHz AC場感測探頭及三軸向低電感場消除線圈組成，并安裝在晶圓廠內以產生反向磁場并改善外部磁場問題。在控制器內有三個電源放大器，主要是驅動電流通過磁場線圈并產生相對的磁場以改善儀器周圍的磁場干擾，可以消除DC到9 kHz以上的磁場。感測探頭量測改善后的磁場強度，并即時反饋回控制系統(tǒng)以調整回路增益值。

SC26具有兩個200 kHz AC磁場傳感器（藍色）的輸入，可混合使用以優(yōu)化電子束工具的性能。這樣能抵消低至10 Hz的磁場。通過為每個輸入通道添加一個“ Sensor SC24 / DC + AC”和一個傳感器組合器，消除范圍可擴展到DC。

300mm晶圓廠里的晶圓運輸工具，會產生9kHz的磁場，限制了電子束工具的性能，并成為半導體技術發(fā)展的障礙。 SC26是一個寬頻帶系統(tǒng)，可以消除磁場，從AC至9kHz以上。為了獲得寬頻帶，SC26消磁系統(tǒng)采用了低電感場對消安裝在電子束工具外殼中的電纜。

SC26不能像SC24系統(tǒng)那樣在“房間”安裝中與較大的電纜一起使用，因為SC24系統(tǒng)的工作頻率更低。

Spicer主動消磁器-電鏡消磁器-電鏡電磁屏蔽系統(tǒng) SC26產品特點：