Spicer主動(dòng)消磁器-電鏡消磁器-電鏡電磁屏蔽系統(tǒng) SC26，針對(duì)晶圓廠內(nèi)磁場改變時(shí)會(huì)使電子束產(chǎn)生偏折并造成影像解析度下降或影像扭曲。SC26主動(dòng)式消磁系統(tǒng)能針對(duì)外部磁場動(dòng)態(tài)變化提供穩(wěn)定的反向磁場以提升拍攝的影像品質(zhì),SC26是被優(yōu)化的第四代消磁系統(tǒng)，用于抵消在300mm晶圓廠中機(jī)器人晶圓傳輸?shù)母哳l場，通常在9kHz。SC26的工作原理與其他消磁系統(tǒng)類似。消磁方法是寬帶模擬負(fù)反饋。嵌入式微型計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，對(duì)測量場進(jìn)行數(shù)字化處理，但不屬于反饋回路,SC26主動(dòng)式消磁系統(tǒng)主要是由磁場控制器、一或兩個(gè)200 kHz AC場感測探頭及三軸向低電感場消除線圈組成，并安裝在晶圓廠內(nèi)以產(chǎn)生反向磁場并改善外部磁場問題。在控制器內(nèi)有三個(gè)電源放大器，主要是驅(qū)動(dòng)電流通過磁場線圈并產(chǎn)生相對(duì)的磁場以改善儀器周圍的磁場干擾，可以消除DC到9 kHz以上的磁場。感測探頭量測改善后的磁場強(qiáng)度，并即時(shí)反饋回控制系統(tǒng)以調(diào)整回路增益值。

SC26具有兩個(gè)200 kHz AC磁場傳感器（藍(lán)色）的輸入，可混合使用以優(yōu)化電子束工具的性能。這樣能抵消低至10 Hz的磁場。通過為每個(gè)輸入通道添加一個(gè)“ Sensor SC24 / DC + AC”和一個(gè)傳感器組合器，消除范圍可擴(kuò)展到DC。

300mm晶圓廠里的晶圓運(yùn)輸工具，會(huì)產(chǎn)生9kHz的磁場，限制了電子束工具的性能，并成為半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展的障礙。 SC26是一個(gè)寬頻帶系統(tǒng)，可以消除磁場，從AC至9kHz以上。為了獲得寬頻帶，SC26消磁系統(tǒng)采用了低電感場對(duì)消安裝在電子束工具外殼中的電纜。

SC26不能像SC24系統(tǒng)那樣在“房間”安裝中與較大的電纜一起使用，因?yàn)镾C24系統(tǒng)的工作頻率更低。

Spicer主動(dòng)消磁器-電鏡消磁器-電鏡電磁屏蔽系統(tǒng) SC26產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 改善外部磁場干擾以達(dá)到電子束儀器對(duì)磁場規(guī)格的要求
• 從DC到> 9 kHz的實(shí)時(shí)寬帶消除
• 適應(yīng)10μs之內(nèi)的磁場幅度和頻率變化
• 觸摸屏智能用戶界面，具有自動(dòng)設(shè)定和直流復(fù)位功能
• 面板同時(shí)顯示交流及直流磁場數(shù)值并可選擇不同單位( Tesla或 Gauss)
• 雙感測探頭設(shè)置可以在電子槍內(nèi)產(chǎn)生一個(gè)虛擬感應(yīng)器
• 內(nèi)置測試場發(fā)生器
• 以太網(wǎng)和USB端口用于遠(yuǎn)程操作和監(jiān)視

技術(shù)參數(shù)：

磁場傳感器：