SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺 PS4L 產(chǎn)品描述：
SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺 PS4L 是模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)明顯操作靈活的手動探針臺。它采用了 SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金費(fèi)用。PS4L 系列探針臺滿足了客戶對規(guī)格參數(shù)精準(zhǔn)的要求。與傳統(tǒng)的探針臺相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺中所有的基礎(chǔ)模塊-基座，平臺,卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動，光學(xué)組件，操縱器等都是可以更換的，這使得 PS4L系列探針臺以極低的價(jià)格便可滿足多種應(yīng)用需求，為客戶提供了的解決方案。
更重要的是，PS4L的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以使探針臺在一個(gè)基本平臺的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級?？筛鶕?jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進(jìn)行現(xiàn)場升級，由手動探針臺升級為半自動探針臺，半自動探針臺升級為全自動探針臺，或者6”升級為8”，8”升級為12”，增加密閉測試倉，增加高低溫等，以滿足用戶新的要求。這樣的設(shè)計(jì)理念使得即使當(dāng)晶圓尺寸，自動化的程度或者測試要求發(fā)生改變時(shí)，PS4L也無需重新更換新的平臺，便可用最短的時(shí)效和的費(fèi)用完成有效的測試。
產(chǎn)品特點(diǎn)： - 可靈活改變測試尺寸
- 模塊化設(shè)計(jì)，可更換關(guān)鍵部件
- 系統(tǒng)可在客戶現(xiàn)場升級
- 可升級為半自動探針臺，或者6”升級為8”，8”升級為12”
- 結(jié)構(gòu)簡潔，方便操作
應(yīng)用范圍：
- 光伏工業(yè)
- 材料科學(xué)
- 光電行業(yè)
- 失效分析
- 通信器件測試
- 微機(jī)電技術(shù)
- 半導(dǎo)體
SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺技術(shù)參數(shù)（型號：PS4L M-12）：
- 產(chǎn)品尺寸：1200mm * 650mm * 900mm
- 重量：110Kg
- 輸入電壓：110/220V 50/60Hz,20A
- 真空:23 Hg or -0.8 bar
- 卡盤X-Y軸軌道：行程:＞300mm粗調(diào)，25mm微調(diào)(可定制)
- 平面性:±7.5μm
- 分辨率:5μm
- 支架類型：快速對準(zhǔn)（標(biāo)配）、同軸/可編程（選配）
- 卡盤Z軸軌道：行程：＞20mm
- θ移動：可轉(zhuǎn)角度：360°粗調(diào)，>10°微調(diào)
- 卡盤類型：真空或機(jī)械夾緊，圓形或方形，三軸，高頻，高壓/高電流，高低溫等
- 平面性:5μm
- 壓盤：鋁和不銹鋼頂部，可拆卸前楔
- 360度機(jī)械手放置
- 機(jī)械手固定：磁性(標(biāo)準(zhǔn))，真空(可選配真空歧管工具包)
- 壓盤位移：可選擇固定和線性調(diào)節(jié)（線性調(diào)節(jié)范圍：40mm粗調(diào)，200um微調(diào)）
- 顯微鏡：立體變焦、變焦或復(fù)式顯微鏡
- 顯微鏡安裝/移動：可選吊桿、立柱或橋架安裝；可手動或通過程控移動
SemiProbe手動探針臺-直流探針臺-射頻探針臺可選配件：
包括探針卡，操縱器，操縱臂和基座， 探針，激光，光學(xué)部件，CCTV 系統(tǒng)，隔振臺，暗箱。
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