產品描述:
主動防振臺-減振臺-隔震臺AVI-200M是六個空間方向自由隔振(1Hz – 200Hz主動隔振, >200Hz被動隔振),通過增加選件可以將低頻擴展至0.5hZ,單模塊承重200kg,配置多個模塊時承重為200*Nkg,為客戶精密測試加工提供良好的振動環(huán)境,廣泛引用于原子力顯微鏡,超景深顯微鏡,電子顯微鏡,微納加工等等。
主動防振臺-減振臺-隔震臺-AVI系列是一款緊湊型模塊化的主動防振臺,可在寬頻率范圍內為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業(yè)界的主動隔振性能(從0.5 Hz開始)。AVI系列平臺通過消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲,幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益,并且平臺采用了低調的模塊化設計,無需為大多數(shù)儀器(包括大多數(shù)SEM)安裝所需的升降設備,從而簡化了安裝過程。
主動防振臺Avi-200M適用于各類大型電子顯微鏡AEM,SEM,ATM,TEM,,輪廓儀,電子天平,超快激光系統(tǒng)時頻系統(tǒng),大型半導體設備,激光設備!
工作原理:
安裝有測量和制造設備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設備造成不利影響,的解決方案則是使用主動防振臺(減振臺),以便營造該設備的條件。
主動式防振臺使用電氣控制,通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動,并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產生作用力,并繼續(xù)產生的振動隔離狀態(tài)。主動防振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。
AVI系列主動防振臺采用的隔振技術,適用于任何研究情況下,可以隔離6個自由度方向上的振動,包括水平和垂直方向。AVI系列主動防振臺利用控制器內的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動,通過將外界的壓力信息轉換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產生一個與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機械共振??蔀閷嶒炇抑袑φ饎用舾械脑O備如電鏡,光學器件等精密儀器隔離來自地面的震動,提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。
主動防振臺AVI-200M產品特點: - 六個空間方向自由防振(0.5Hz – 200Hz主動防振, >200Hz被動防振)
- 5-20ms響應時間
- 低頻防振性能優(yōu)異,安裝和使用簡單
- 系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除
- 緊湊、模塊化的多功能設計
- 穩(wěn)定性高,能連續(xù)使用多年
- 無低頻共振、無空氣要求
主動防振臺AVI-200M應用范圍: - STM
- AFM
- 干涉儀
- 摩擦學
- 輪廓儀
- 高精度計量
主動防振臺AVI-200M技術參數(shù): - 型號:AVI-200M/LP
- 系統(tǒng)配置:獨立隔振裝置 & 控制裝置
- 主動隔振范圍:大致為1.0 Hz – 200 Hz
- 被動隔振范圍:大致為200 Hz以上
- 顯示屏信號:多路復用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。
- LEDs 指示輸出階段的過載情況。
- 單元尺寸(每個):130 x 636 x 112.5 Hmm,
- 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
- 隔振單元重量: 10kg
- 負載能力:400 kg (同等/低重心)
- 輸入電壓: 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
- 功耗:通常9W
- 校正力:水平4N,垂直8N
- 系統(tǒng)噪音:0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
- 靜態(tài)柔度:垂直約3.5µm/N,水平約7µm/N
- 溫度范圍:5℃ – 40℃
- 相對濕度:10 – 90 % (5 – 30 ℃)?10 – 60 % (30 – 40 ℃)
- 室內/室外使用:僅用于室內
升級選項:
AVI-200M 主動防振臺可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。
主動防振臺AVI-200M隔振效果:
AVI-200M 性能對比圖:AFM 的研究人員在兩種條件下進行成像: 不含主動式防振臺和包含AVI系列主動防振臺。當使用AVI系列主動減振臺搭載AFM時,所得圖像表明圖像質量和整體測量清晰度得到大幅提升。
如果客戶需要的測試環(huán)境,我們的主動防振臺AVI-200M還不能滿足要求時,我們也強烈建議客戶了解Herzan 隔音箱AEK-2002 如圖:


















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