防振臺(tái) AVI-600S為隔振臺(tái)/輪廓儀隔振臺(tái)系統(tǒng)，高精密儀器隔振臺(tái)設(shè)備，高分辨率顯微鏡隔振臺(tái)系統(tǒng)，原子力顯微鏡隔振臺(tái)，隧道顯微鏡隔振系統(tǒng)，微納加工精密儀器主動(dòng)隔振臺(tái)設(shè)備，超低頻隔振臺(tái)，低頻隔振，響應(yīng)時(shí)間快。主動(dòng)隔振頻率為 0.5Hz – 200Hz，被動(dòng)隔振頻率>200Hz。
產(chǎn)品描述：
防振臺(tái)-主動(dòng)減震臺(tái)-隔震臺(tái)AVI-600S是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對(duì)靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動(dòng)，以提高精密設(shè)備的性能，具有的性能及通用性。該隔振臺(tái)的主動(dòng)隔振頻率為 0.5Hz – 200Hz，被動(dòng)隔振頻率>200Hz，其能夠整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振的設(shè)備中，主動(dòng)檢測輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除；允許自由選擇整個(gè)系統(tǒng)的尺寸和配置，可通過增加隔振模塊的數(shù)量來支持更大的儀器載重量。安裝簡單，易操作，穩(wěn)定性高，能連續(xù)使用多年！
為各類光學(xué)顯微鏡主動(dòng)防振臺(tái)-干涉儀主動(dòng)防震臺(tái)-電子天平防振臺(tái)-輪廓儀防震臺(tái)-半導(dǎo)體設(shè)備主動(dòng)防震臺(tái)-激光設(shè)備防振臺(tái)-微納加工精密儀器防振系統(tǒng)。優(yōu)點(diǎn)：六軸方向自由度隔防振臺(tái)，超低頻負(fù)剛度防震臺(tái)，高負(fù)載主動(dòng)防震臺(tái)。
工作原理：
AVI-600S主動(dòng)減震臺(tái)使用電氣控制，通過對(duì)傳入振動(dòng)施加反方向的力來立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監(jiān)測振動(dòng)，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續(xù)產(chǎn)生的振動(dòng)隔離狀態(tài)。主動(dòng)式隔振臺(tái)擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
AVI系列主動(dòng)減震臺(tái)-隔震臺(tái)采用的隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng)，包括水平和垂直方向。AVI系列平臺(tái)利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動(dòng)，通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號(hào)來消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振?？蔀閷?shí)驗(yàn)室中對(duì)震動(dòng)敏感的設(shè)備如電鏡，光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動(dòng)，提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。
產(chǎn)品亮點(diǎn)： - 六個(gè)空間方向自由隔振(0.5Hz – 200Hz主動(dòng)隔振, >200Hz被動(dòng)隔振)
- 5-20ms響應(yīng)時(shí)間
- 低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡單
- 系統(tǒng)主動(dòng)檢測輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除
- 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)
- 穩(wěn)定性高，能連續(xù)使用多年
- 無低頻共振、無空氣要求
應(yīng)用范圍：
- 超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）
- 光刻工具
- 高精度計(jì)量工具
- 光譜儀器
技術(shù)參數(shù)：
- 型號(hào)：AVI-600S/LP
- 系統(tǒng)配置：獨(dú)立隔振裝置 & 控制裝置
- 主動(dòng)隔振范圍：大致為1.0 Hz – 200 Hz
- 被動(dòng)隔振范圍:大致為200 Hz以上
- 顯示屏信號(hào):多路復(fù)用信號(hào)用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動(dòng)水平。
- LEDs 指示輸出階段的過載情況。
- 單元尺寸(每個(gè)):288 x 396 x 112.5 Hmm
- 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
- 隔振單元重量: 23kg
- 負(fù)載能力:1200 kg (同等/低重心)
- 輸入電壓: 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
- 功耗：通常27W
- 校正力：水平12N，垂直24N
- 系統(tǒng)噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
- 靜態(tài)柔度：垂直約1µm/N，水平約2 µm/N
- 溫度范圍：5℃ – 40℃
- 相對(duì)濕度：10 – 90 % (5 – 30 ℃)?10 – 60 % (30 – 40 ℃)
- 室內(nèi)/室外使用：僅用于室內(nèi)
升級(jí)選項(xiàng)：
- AVI 600S 隔震臺(tái)可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強(qiáng)低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。
隔振效果：
性能對(duì)比圖：AFM 的研究人員在兩種條件下進(jìn)行成像： 不含隔振系統(tǒng)和包含TS 系列防振臺(tái)。當(dāng)使用TS系列隔振臺(tái)搭載AFM時(shí)，所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測量清晰度得到大幅提升。
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