產(chǎn)品描述:
AVI-400系列可以主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除,六個(gè)空間方向的自由隔振,系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機(jī)械共振,低頻隔振性能優(yōu)秀,無(wú)低頻共振、無(wú)空氣要求!自動(dòng)調(diào)節(jié)負(fù)載,即插即用。LCD顯示屏實(shí)時(shí)顯示振動(dòng)情況,多種面板定制選擇。
主動(dòng)隔振臺(tái)AVI-400 work station,模塊化、易于安裝的設(shè)計(jì),主動(dòng)式減震平臺(tái)-主動(dòng)隔振平臺(tái)-主動(dòng)式隔振平臺(tái) AVI-400系列廣泛運(yùn)用于各種需要高性能振動(dòng)隔離的儀器。 為各類(lèi)大型電子顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,,輪廓儀,電子太平,超快激光系統(tǒng),時(shí)頻系統(tǒng),大型半導(dǎo)體設(shè)備,激光設(shè)備主動(dòng)減振。

工作原理:
Herz AVI-400使用電氣控制,通過(guò)對(duì)傳入振動(dòng)施加反方向的力來(lái)立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng),并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力,并繼續(xù)產(chǎn)生的振動(dòng)隔離狀態(tài)。主動(dòng)式隔振臺(tái)擅長(zhǎng)于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
AVI-400系列采用的隔振技術(shù),適用于任何研究情況下,可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng),包括水平和垂直方向。AVI系列利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來(lái)傳感外界傳入的振動(dòng),通過(guò)將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號(hào)來(lái)消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路來(lái)消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振。可為實(shí)驗(yàn)室中對(duì)震動(dòng)敏感的設(shè)備如電鏡,光學(xué)器件等精密儀器隔離來(lái)自地面的震動(dòng),提供穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境。
產(chǎn)品特點(diǎn): - 主動(dòng)隔振頻率5Hz – 200Hz
- 被動(dòng)隔振頻率>200Hz
- 5-20ms的響應(yīng)時(shí)間
- 安裝簡(jiǎn)單,容易使用
- 穩(wěn)定性高,能連續(xù)使用多年
- 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)
- 多種規(guī)格尺寸的面板支持各種研究及應(yīng)用
產(chǎn)品應(yīng)用:
- SEM
- TEM
- UHV-SPM
- 光刻
- 光譜測(cè)量
- 高精度測(cè)量
- 其他高精密儀器
性能優(yōu)勢(shì):
- 系統(tǒng)主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除
- 六個(gè)空間方向的自由隔振
- 系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機(jī)械共振
- 低頻隔振性能優(yōu)秀
- 無(wú)低頻共振、無(wú)空氣要求
兼容性:
主動(dòng)式減震平臺(tái)-主動(dòng)隔振平臺(tái)-主動(dòng)式隔振平臺(tái) AVI-400系列可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來(lái)增強(qiáng)低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

技術(shù)參數(shù)(負(fù)載能力:高達(dá)800kg) :

隔振實(shí)例:



















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