精密隔振光學(xué)平臺-光學(xué)平臺-氣浮光學(xué)平臺 h-TDI系列 是日本HERZ公司研發(fā)的一款3D減振類型系統(tǒng)。該系列改進(jìn)了原始TDI減振系統(tǒng)的SHG技術(shù)，采用超高性能3D空氣彈簧搭配高阻尼框架，可隔離三維六個自由度的振動，適用于光學(xué)顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供優(yōu)異的被動隔振性能。

產(chǎn)品描述：

精密隔振光學(xué)平臺–光學(xué)平臺–氣浮光學(xué)平臺 h-TDI 系列 是日本HERZ公司研發(fā)的一款3D減振類型系統(tǒng)。該系列精密隔振光學(xué)平臺改進(jìn)了原始TDI減振系統(tǒng)的SHG技術(shù)，采用超高性能3D空氣彈簧搭配高阻尼框架，可隔離三維六個自由度的振動，適用于光學(xué)顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供優(yōu)異的被動隔振性能。系列是日本HERZ公司研發(fā)精密隔振光學(xué)平臺的一款3D減振類型系統(tǒng)。該系列改進(jìn)了原始TDI減振系統(tǒng)的SHG技術(shù)，采用超高性能3D空氣彈簧搭配高阻尼框架，可隔離三維六個自由度的振動，適用于光學(xué)顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供優(yōu)異的被動隔振性能。

Herz 光學(xué)平臺 工作原理：

安裝有測量和制造設(shè)備的地板或多或少會有振動。 如果這些振動對設(shè)備造成不利影響，的解決方案則是使用光學(xué)平臺-精密減振臺-電鏡防振臺（減振臺），以便營造該設(shè)備的條件。

被動隔振臺以其的柔和運(yùn)動，易于移動的形狀和適當(dāng)?shù)闹亓縼砦諅魅氲恼駝?，并消耗振動能量進(jìn)行隔振。因此，諸如防振橡膠和空氣彈簧之類的柔軟材料以及可以輕柔移動的零件是被動隔振臺的重要元素。被動隔振臺可以通過改變彈簧強(qiáng)度或增加彈簧數(shù)量來支撐數(shù)十噸的設(shè)備。

相對于防振支撐件（彈簧上）的總重量M，空氣彈簧式隔振臺旨在使靜載荷下“彈簧壓力受壓面積S”，“彈簧內(nèi)部壓力P”和“彈簧數(shù)量N（支撐件的數(shù)量）”相乘的總數(shù)值保持平衡。當(dāng)發(fā)生動態(tài)負(fù)載情況（由于M重心的移動而導(dǎo)致的不平衡狀態(tài)）時，可變負(fù)載分量（ΔM）由機(jī)械閥自動校正，或者由封閉閥手動校正以校正內(nèi)部壓力。空氣彈簧式隔振臺使用彈簧材料的粘性阻力和封閉壓力的空氣（氣體）阻力作為損失系數(shù)，為了改善隔振效果，空氣彈簧內(nèi)部容積（彈簧腔）與輔助氣罐內(nèi)部體積（阻尼室）之間通過節(jié)流孔（節(jié)流閥）彼此連接，并且通過節(jié)流孔進(jìn)行空氣阻尼。該輔助氣罐是調(diào)節(jié)自然頻率的主要因素之一。這種控制方法的優(yōu)點是可以通過低成本的組件配置獲得的效果，例如通過機(jī)械閥進(jìn)行壓力操作（壓力IN / OUT / EXH）以及通過節(jié)流孔或速度控制器進(jìn)行流速/流量調(diào)節(jié)。

技術(shù)參數(shù)：

• 型號：h-TDI ※可選h-TDIS
• 減振方式：垂直方向-HERZ減振空氣彈簧，水平方向-Herz高性能水平振動隔離系統(tǒng)
• 空氣彈簧數(shù)：4-6
• 阻尼方式：垂直方向通過節(jié)流孔進(jìn)行空氣阻尼，水平方向采用特殊橡膠的高性能阻尼
• 固有頻率：垂直方向約1.3Hz/水平方向約0.6Hz(搭載均等重量時）
• 調(diào)平方式：帶有3個機(jī)械式自動調(diào)平傳感器
• 供氣方式：氣源分開供氣
• 所需氣壓：0.3～0.7MPa（3～7kgf/c㎡） ※可選手動供氣
• 工作臺材質(zhì)：頂板-磁化不銹鋼板5t ,底板-熱軋低碳鋼板 4.5t ※可選消磁不銹鋼板
• 蜂窩板材質(zhì)：鋁/鋼制蜂窩板 ※可選消磁不銹鋼蜂窩板
• 表面處理：攻絲M-6?25mm矩陣標(biāo)準(zhǔn)加工（可選） 表面未涂漆（※帶黑色涂料）
• 承重力：150-1,000Kg（取決于具體型號）
• 整體重量：197-3,400 Kg（取決于具體型號和面板材質(zhì)）
• 外形尺寸：取決于具體型號(107LA-6015LA)

升級選項：

• 高阻尼框架
• 面板選項：根據(jù)需求可選高阻尼蜂窩板，石板和鑄鐵板

減振效果-Herz 光學(xué)平臺：

h-TDI系列 電鏡防振臺可有效降低垂直方向和水平方向上的振動情況，搭配高阻尼框架，可將外力沖擊導(dǎo)致的位移最小化。