
泛半導(dǎo)體光刻機(jī)
| 類別 | 項(xiàng)目描述 | KST-DI01-1NLS-T | 備注 |
| 基材 | 基材尺寸(MAX) | 70mm × 245mm | |
| 基材尺寸(MIN) | 62mm × 61mm | ||
| 基材厚度 | 0.05-4mm | ||
| 壓板機(jī)構(gòu) | 針對(duì)客戶板定制 | ||
| 解析度 L/S | 線寬解析尺寸 | 50um/50um | |
| 線寬解析精度 | ±8um | ||
| 光源景深 | ±300um | ||
| 制程 | 感光材料 | 傳統(tǒng)干膜,濕膜,或 LDI 專用膜; | |
| 曝光能量 | 3300 MW/CM2 或更高 | ||
| 光源頻譜 | 405nm | ||
| 光源總功率 | 20W/每臺(tái) | ||
| 應(yīng)用范圍 | 硅晶板,陶瓷板,銅硅結(jié)合板等 | ||
| 適用工序 | 內(nèi)外層線路;次級(jí)線路; | ||
| 文件輸入形式 | 資料輸入 | Gerber274X;Gerber274D(強(qiáng)烈不推薦此種格式) | |
| 裝機(jī)需求 | 電源供應(yīng) | AC220V-50HZ-3KW(含冰水機(jī)功率) | |
| 純凈水需求 | 15~20L(風(fēng)冷冰水機(jī)) | ||
| 壓縮空氣需求 | 5.5kgf/cm2 | ||
| 單機(jī)設(shè)備重量 | 800kg(參考值, 不同配置重量不同) | ||
| 外形尺寸(參考) | 主體尺寸(W * D * H) 990mm X1275mm X1702mm | ||
| 無塵環(huán)境溫度 | 22±2°C | ||
| 相對(duì)環(huán)境濕度 | 45~60%(不結(jié)露) | ||
| 無塵等級(jí) | 10W CLASS 或以上 | ||
| 特殊應(yīng)用 | 圖形漲縮管理 | 固定漲縮;自動(dòng)漲縮; 測(cè)量漲縮; | |
| 掃碼 MARK 功能 | 打印日期;時(shí)間;序號(hào);漲縮系數(shù)等; | ||
| 系統(tǒng)選項(xiàng) | 漲縮管理 | 局部漲縮;區(qū)域漲縮; | |
| 資料輸入 | ODB++ | ||
| 有孔對(duì)位 | 正面對(duì)位 | ||
| 臺(tái)面系統(tǒng)定制 | 壓板機(jī)構(gòu) | ||
| 激光器 | 48W | ||
| 多區(qū)域曝光 | 無 |


















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