chiller溫控器冰水機HRS090 維修服務
半導體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產過程中的溫控設備。

應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）， 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制

chiller溫控器冰水機HRS090 維修服務 應用領域

激光加工、印刷設備、清潔設備、焊接設備、高分析儀、LCD制造設備、模具溫調、高頻感應加熱設備、X射線（數字式）設備等

ZL802是一臺循環(huán)液進行溫度控制并將其供給至客戶的冷熱源的裝置。具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置，采用控溫設計和技術，具有廣泛的溫度范圍：-80℃至+300℃，在半導體制作過程激光加工機/分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等廣泛用途中成果較多。

特點

·溫度范圍:-80℃~+300℃

·溫度穩(wěn)定性±0 .1℃℃

·PLC觸摸屏操作，人機交互界面

·結構簡單、可靠性高

·定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

·溫度波動小

zonglen冷熱液體循環(huán)沖擊機chiller 應用

·應用于半導體、激光、焊接機、食品、包裝機，如：半導體（蝕刻裝置、CMP、涂布機）·顯影機、試驗機、清洗機）激光（激光加工機·激光焊接機、激光器、、光纖激光器用傳送電纜接頭、超聲波檢查裝置、二次電池制造工程）

·焊接機（弧焊、電阻焊接、高頻感應加熱設備）

可用選項

·省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節(jié)能。

可對應溫度穩(wěn)定性±0.1℃、溫度范圍-80℃~+300℃。

循環(huán)液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水（純水）。

冷卻方式：風冷式（可選配水冷式）