| 參考價(jià) | ￥ 20000 |
| 訂貨量 | ≥1臺(tái) |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品新舊 | 全新 |
四探針電阻率測(cè)試儀四探針電阻率測(cè)試儀
標(biāo)準(zhǔn)要求：
該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，它與單電測(cè)直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。
技術(shù)參數(shù)及功能介紹
規(guī)格型號(hào) | BCD-310 |
1.方塊電阻范圍 | 10-5～2×105Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 10-6～2×106Ω-cm |
3.測(cè)試電流范圍 | 0.1μA,1μA,10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA |
4.電流精度 | ±0.1%讀數(shù) |
5.電阻精度 | ≤0.3% |
6.顯示讀數(shù) | 大屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 |
7.測(cè)試方式 | 雙電測(cè)量 |
8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<30W |
9.整機(jī)不確定性誤差 | ≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果） |
10.選購(gòu)功能 | 選購(gòu)1.pc軟件； 選購(gòu)2.方形探頭； 選購(gòu)3.直線形探頭； 選購(gòu)4.測(cè)試平臺(tái) |
1.雙電測(cè)四探針?lè)y(cè)試薄層樣品方阻計(jì)算和測(cè)試原理如下：
直線四探針測(cè)試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理：
當(dāng)電流通過(guò)1、4探針，2、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下：
四探針測(cè)試結(jié)構(gòu)
當(dāng)電流通過(guò)1、2探針，4、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下：從以上計(jì)算公式可以看出：方阻RS只取決于R1和R2，與探針間距無(wú)關(guān)．針距相等與否對(duì)RS的結(jié)果無(wú)任何影響，本公司所生產(chǎn)之探針頭全部采用等距，偏差微小，對(duì)測(cè)試結(jié)果更加精準(zhǔn)。
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