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HMDS真空烤箱

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公司名稱寧波艾德生儀器有限公司
品牌
型號(hào)EHMDS
所在地寧波市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2024/8/28 9:06:37
訪問(wèn)次數(shù)252

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

　　艾德生儀器有限公司(EDESON INSTRUMENT CO.,LTD.)是致力于生產(chǎn)可靠性環(huán)境試驗(yàn)儀器設(shè)備及生化儀器的專業(yè)化性公司。

　　公司擁有一支專業(yè)從事產(chǎn)品研制、售前、售后服務(wù)的人才隊(duì)伍，具有*的工藝、工裝、檢測(cè)和質(zhì)量管理制度，所有產(chǎn)品的生產(chǎn)均按ISO9001:2000質(zhì)量體系實(shí)施受控管理。

　　EDESON已成功為眾多領(lǐng)域廠商、科研機(jī)構(gòu)Lab提供了專業(yè)的儀器解決方案！所有產(chǎn)品均已在航空、航天、造船、電力、電子、汽車、醫(yī)藥、通訊、*、科研機(jī)構(gòu)及大專院校廣泛采用，并受到*好評(píng)。在此，我們衷心感謝廣大新老客戶多年來(lái)對(duì)EDESON的支持與信賴！

　　EDESON也將秉持一貫的專業(yè)精神和質(zhì)量，格守“為客戶創(chuàng)造價(jià)值"的經(jīng)營(yíng)理念，一如既往地為廣大新老客戶提供優(yōu)質(zhì)、高效的產(chǎn)品與服務(wù)，樹(shù)立“EDESON"品牌形象。公司先后在深圳、上海、武漢、哈爾濱設(shè)立了售后服務(wù)處，以便為客戶提供更快、更好的優(yōu)質(zhì)服務(wù)！

　　本公司主要產(chǎn)品有：高低溫試驗(yàn)箱、恒溫恒濕試驗(yàn)箱、低溫低濕試驗(yàn)箱、高低溫沖擊試驗(yàn)箱、鹽霧試驗(yàn)箱、二氧化硫試驗(yàn)箱、高低溫濕熱試驗(yàn)室、恒溫干燥箱、耐候試驗(yàn)箱、紫外光\氙弧燈老化試驗(yàn)箱、低溫恒溫槽、冷凝水試驗(yàn)箱、溫濕度、振動(dòng)三綜合試驗(yàn)機(jī)、拉力試驗(yàn)機(jī)、生化培養(yǎng)箱、藥用冷藏箱、光照培養(yǎng)箱、藥物穩(wěn)定性試驗(yàn)箱、人工氣候室、及壓力蒸汽滅菌器等系列產(chǎn)品。

　　本公司產(chǎn)品符合ISO、GB、GJB、ASTM、DIN、JIS、CNC、UL、MIL、IEC等標(biāo)準(zhǔn)及大眾汽車TL，通用汽車GM汽車行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，產(chǎn)品遍布世界各地。

　　EDESON堅(jiān)信，通過(guò)我們的合作與努力必將達(dá)到我們共同的目標(biāo)——品質(zhì)成就品牌！

　　-服務(wù)工業(yè) 品質(zhì)成就品牌－

　　全國(guó)統(tǒng)一客戶免費(fèi)服務(wù)熱線:400-618-5505

　　Thanks for your support and assistance, it’s our honor to cooperate with you, EDESON will always pay attention to customers and partners’ feeling , dedicate to it’s service and quality with stable and pragmatic attitude, in order to get the win-win situation with the customers and the partners

　　EDESON Instrument Co., Ltd are the Exclusively-invested subsidiary company of EDESON International Holding Company, the main products include MRO, LAB, MDSIN, THAS.

　　EDESON expand his project to China market since March, 2000, Now his business and employees have already grown stably and fast, As the continuous improvement of the quality of the products and services, we get many customers and partners’ affirmation, ENSON take "Quality Creates Brand" as their essential concept , relying on global factory and purchase system of EDESON International Holding Company, integrating tens of thousands of high-quality products and the brand products of EDESON International Holding Company, can give customer one-stop integrated services

　　-- Service for Global Industry --- Quality Creates Brand---

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藥物穩(wěn)定試驗(yàn)箱，高低溫試驗(yàn)箱,恒溫恒濕試驗(yàn)箱,鹽霧試驗(yàn)箱,真空干燥箱,高溫爐,生化培養(yǎng)箱,光照培養(yǎng)箱，人工氣候箱，高溫老化房，藥品冷藏箱，低溫恒溫槽，冷卻水循環(huán)裝置

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

EHMDSHMDS真空烤箱的詳細(xì)資料：一、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝顯得更為重要

HMDS真空烤箱產(chǎn)品信息

EHMDSHMDS真空烤箱的詳細(xì)資料：

一、HMDS 預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：

在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、設(shè)備外殼采用SUS304不銹鋼材質(zhì)制作，內(nèi)膽為不銹鋼SUS316L材料制成；
采用C型不銹鋼加熱管,均勻分布在內(nèi)膽外壁，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置；
箱門采用鋼化、雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品生產(chǎn)情況。

2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)保持高真空度。

3、采用PID控制,系統(tǒng)具有自動(dòng)控溫,定時(shí),超溫報(bào)警等,采用LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡(jiǎn)單易用,性能穩(wěn)定。

4、智能觸摸屏控制系統(tǒng)采用PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時(shí)間。

5、HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，使真空箱密封性能，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。

6、整個(gè)內(nèi)部系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)SUS316L不銹鋼材料制作，無(wú)發(fā)塵材料，適用百級(jí)光刻間凈化環(huán)境。

三、產(chǎn)品型號(hào)及參數(shù)：

設(shè)備型號(hào)：EHMDS-110

控溫范圍：RT+10～250℃

溫度分辨率：0.1℃

控溫精度：±0.5℃

隔板數(shù)量：2塊（標(biāo)配）

真空度：<133Pa

真空泵：DM4（內(nèi)置連接）

設(shè)備電源：AC220/50HZ

額定功率：3.5KW

內(nèi)膽尺寸mm：450x450x550 （W*D*H）

外形尺寸mm：650x640x1010 （W*D*H）

四、HMDS系列預(yù)處理系統(tǒng)的原理：

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

五、HMDS系列預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：

首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開(kāi)始充入氮?dú)?，充到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開(kāi)始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)猓瓿烧麄€(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。

六、廢氣排放：

多余的HMDS蒸汽（廢氣）將由真空泵抽出，排放到廢氣收集管道，在無(wú)廢氣收集管道時(shí)需做專門處理。

選配件：

1、增加HMDS液體瓶

2、壓力記錄儀（帶曲線）

3、溫度記錄儀（帶曲線）

關(guān)鍵詞：真空泵溫度記錄儀