半導體潔凈環(huán)境檢測用0.1μm粒子計數(shù)器3950
應用范圍
作為傳感器嵌入到設備裝置中
潔凈室的清潔度管理
高清潔度區(qū)域的管理
重視可視性，大畫面，觸摸屏顯示器，可在附帶軟件上顯示測試數(shù)據(jù)
雙通道： 0.1μm 0.3μm
額定流量：2.83umin
通過實現(xiàn)超小型化設計，使粒子計數(shù)器嵌入裝置設備成為可
0.1 um測量
4.3英寸彩色液晶
標配RS-485,Ethernet,USB
小型化！重量大幅度輕量化
以往的尺寸很難嵌入組裝在半導體制造等裝置中，
本產品通過壓倒性的小型化，使傳感器嵌入設備中使用變?yōu)楹啽阋仔小?/span>
半導體潔凈環(huán)境檢測用0.1μm粒子計數(shù)器3950
品 名 | 塵埃粒子計數(shù)器 | |
型 號 | 3950-00 | |
粒子測量 | 測試方法 | 光散射法 |
粒徑通道 | 2粒徑（0.1、0.3μm） | |
額定流量 | 0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4) | |
測量時間 | 6秒~99分59秒（1次測量時間） | |
間隔時間 | 6秒~99分59秒（測量周期） | |
采樣次數(shù) | 1~999次 或 連續(xù)測試 | |
地點設定 | 99個地點 | |
測量方式 | 重復、單次、連續(xù)、計算 | |
測量數(shù)據(jù)顯示時間 | 1~10秒 | |
測量數(shù)據(jù)顯示 | 累計值∑ 差分值△及柱形圖 | |
最大可測濃度 | 10,000,000個/m3 | |
計數(shù)效率 | 50±20%（相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子） | |
偽 計 數(shù) | <1個/35min | |
粒徑分辨率 | 15%以下（相對0.3μm的PSL粒子） | |
氣 源 | 內置泵 | |
顯示器 | 4.3英寸彩色液晶 觸摸屏 | |
通迅功能 | 本 體 | USB（Host用于打印機、USB存儲；Device用于與PC鏈接） |
數(shù)據(jù)存儲 | 媒 體 | 內存 |
數(shù)量、格式 | 最大10,000個、CSV格式 | |
顯示語言 | 英文、日語 | |
電 源 | AC100~240V | |
使用環(huán)境 | 本 體 | 15~35℃、0~85%RH （無結露） |
外形尺寸 | W150 X H163 X D228 mm | |
重 量 | 3.4kg | |
半導體潔凈環(huán)境檢測用0.1μm粒子計數(shù)器3950
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