VMU-型自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x
產(chǎn)品名稱(chēng):VMU-型 自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x
所屬分類(lèi):VMU
關(guān)鍵字:超精密 成就性能
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:VMU是天準(zhǔn)公司精心研制的高精密,凝聚了機(jī)械、控制、軟件等各相關(guān)領(lǐng)域zui*的科研成果。它在VMP的基礎(chǔ)上進(jìn)一步提升了測(cè)量精度,性能指標(biāo)直擊品牌,是目前國(guó)內(nèi)精度zui高、性能zui穩(wěn)定的。
| 型號(hào) | VMU222 | VMU322 | VMU432 | VMU542 | |
| 行程(mm) | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | |
| 外部尺寸(mm) | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | 1440×1000×1620 | |
| 重量(kg) | 240 | 250 | 310 | 400 | |
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | |
| 測(cè)量精度 | XY軸* | E2=(2.0+L/300)µm | E2=(2.5+L/300)µm | ||
| Z軸** | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
| 速度 | XY軸 | 200mm/S | |||
| Z軸 | 100mm/S | ||||
| 光柵尺 | Renishaw光柵尺,0.4µm分辨率 | ||||
| CCD | SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 | ||||
| 光源 | 輪廓光 | LED冷光源,256級(jí)亮度可調(diào) | |||
| 表面光 | 6環(huán)8區(qū)LED冷光源,各段獨(dú)立操控,256級(jí)亮度可調(diào) | ||||
| 同軸光 | LED冷光源,256級(jí)亮度可調(diào) | ||||
| 光學(xué)系統(tǒng)*** | Navitar 6.5:1可變倍,放大倍率29~163或58~326 | ||||
| 軟件 | Vispec測(cè)量軟件(版) | ||||
| 運(yùn)動(dòng)控制 | 自主的CNC直流伺服系統(tǒng) | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作環(huán)境 | 溫度20℃±2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80% | ||||
| 振動(dòng)<0.002g,低于15Hz | |||||
| 電源 | 220V/50Hz/10A | ||||


















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