該套分子泵組為實驗室分子泵組常規(guī)配制型號：由分子泵DVM80、前級泵高性能兩級旋片真空泵DVR8Zpro、皮拉尼數(shù)字顯示真空計DVI-109組成。

分子泵組DVMS系列

分子泵組由中高真空獲得設(shè)備前級泵和高真空渦輪分子泵組合而成。

主要應(yīng)用場景：

1. 適合抽吸潔凈氣體、少量水蒸氣、微量腐蝕性氣體

2. 適合應(yīng)用于物理、半導(dǎo)體領(lǐng)域的配套裝置，如：PVD、PLD、MBE、CVD、同步輻射

3. 適合配套實驗室深冷研究裝置

4. 適合配套分析實驗裝置，如：電鏡、質(zhì)譜、生物質(zhì)譜分析裝置

5. 適合配套超高真空提取SAFE裝置

主要特點(diǎn)：

1. DVMS泵組采用KF真空接口模塊，極限真空可達(dá)5×10^-7mbar（自適應(yīng)中等轉(zhuǎn)速，取決于系統(tǒng)密封性）

2. DVMS泵組采用CF真空接口模塊，極限真空可達(dá)2×10^-9mbar (極限真空取決于接口密封形式，非分子泵的性能指標(biāo)；自適應(yīng)到轉(zhuǎn)速，取決于系統(tǒng)密封性）

3. 分子泵前級泵（要求小于5mbar）可選：干式隔膜真空泵、干式變頻渦卷式真空泵、干式螺旋真空泵、干式螺桿真空泵、旋片真空泵（油泵）等

4. 分子泵與前級泵之間配套止回閥，密封泵送系統(tǒng)，運(yùn)行安全

5. 分子泵與前級泵之間配套皮拉尼數(shù)字顯示真空計（測量范圍10^-3mbar 到常壓），數(shù)顯提醒分子泵啟動/關(guān)閉時的真空度，更利于操作人員使用