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PECVD-500A/PECVD-S-150A 等離子輝光滑軌PECVD系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱重慶開衡科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地重慶市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/7/23 12:05:23
  • 訪問次數(shù)234
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重慶開衡科技有限公司成立于2011年,是由一批有著高等學歷、優(yōu)良品質(zhì)、豐富經(jīng)驗的專業(yè)人士組建的一家客戶驅(qū)動型企業(yè)。 公司自成立以來,不斷拓寬資源渠道,*產(chǎn)品結構,積累專家智庫,提高本地化服務水平。致力打造科學研究、分析檢測相關實驗室設備和消耗品“一站式”采購平臺,幫助客戶建設一個完備可靠的實驗室。 一個渠道,無限解決方案。開衡科技提供所有實驗室儀器和設備的支持和供應管理,不限生產(chǎn)廠家,憑借我們專業(yè)技術和服務能力,幫助客戶用更少資源和更低成本提高生產(chǎn)力。 我們的產(chǎn)品包括:天平、箱類控溫系統(tǒng)、離心機、加壓電泳液相色譜、離子色譜、水質(zhì)檢測儀器、樣品低溫存儲設備、細胞培養(yǎng)設備、樣品離心及濃縮處理系統(tǒng)、微孔板分析儀器、實驗室純水、恒溫產(chǎn)品、質(zhì)量控制檢測設備、自動化設備、移液器,以及實驗室塑料制品和玻璃器皿、色譜柱、訂制實驗室家具等等。 開衡科技以豐富的選擇,便捷的網(wǎng)絡,迅速有效的售后服務,為重慶地區(qū)各大專院校、科研院所、工業(yè)單位,涉及制藥、環(huán)監(jiān)、食品、農(nóng)業(yè)、醫(yī)學、化工、石化、材料、電子等行業(yè)的科技工作者提供服務和支持。多年實干,公司在用戶中已贏得廣泛贊譽,并成為重慶地區(qū)科學儀器行業(yè)內(nèi)受尊敬的供應商之一。
實驗室儀器設備
實驗機理PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:1,電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應,從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術
PECVD-500A/PECVD-S-150A 等離子輝光滑軌PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

實驗機理

PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:

1, 電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應,從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術。

2, 通過反應氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點,工藝流程簡單。

主要特點

我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。

1.與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長溫度更低。

2.使用滑軌爐可實現(xiàn)快速升溫和降溫。

3. 設備的技術使得整管輝光均勻等效,均勻生長。

技術參數(shù)

產(chǎn)品型號

BTF-1200C-SL-PECVD

工作電源

AC220V /50HZ

工作電源

AC220V /50HZ

額定功率

3KW

爐管尺寸

Φ50/60/80/100(可選)*1650mm

工作溫度

1100℃

Z高溫度

1200℃

控溫精度

±1℃

升溫速率

10℃/min

加熱元件

電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)

加熱區(qū)長度

440mm/220mm

恒溫區(qū)長度

200mm/100mm(±1℃)

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

爐門結構

開啟式

氣路系統(tǒng)(可定制)

1、系統(tǒng)內(nèi)部裝有高精度質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量。2、氣體流量范圍1-1000sccm(可選),誤差為±1.5%。3、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。4、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入。

射頻電源與匹配器500W/150W

1、電源:單相50/60Hz 220v±10%
2、加熱(功率)電源:2.5KW,25A/ 3、控制柜電源空氣開關:32A空氣開關
4、生長室溫度:室溫~ 1200℃ 5、射頻頻率:13.56MHz
6、射頻功率輸出范圍:5~500W

真空機組

低真空或高真空機組(根據(jù)實際需要)


各組成部分名稱


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