LW405-A  激光直寫型號

標(biāo)準(zhǔn)型

緊湊型

臺式

選配

zui大工作區(qū)域（mm）

激光直寫機(jī)的工作區(qū)域可匹配各類掩膜或基板尺寸。包含一個(gè)真空倉（倉體表面通常根據(jù)客戶要求定制）?；宄叽缈梢源笥诨虻扔诠ぷ鲄^(qū)域。

150x150

（6”x6”）

150x150

（6”x6”）

50x50

（2”x2”）

up to 350x350

定位精度 （µm）

這一參數(shù)代表的是在整個(gè)工作區(qū)域的定位誤差以及由于不同的掩膜或工藝水平所可能導(dǎo)致的特征重疊。但這與所達(dá)到的分辨率無關(guān)，如zui小線寬。

± 0.1

± 1

± 1

XY 激光干涉儀

10 nm分辨率

Yes

No

No

zui小線寬（µm）

zui小線寬操作者可以在0.8、2、4或8 µm間進(jìn)行選擇。對于高密度互聯(lián)或微波電路的快速直寫，可選擇一個(gè)極低分辨率的模式（10m）。

0.8

0.8

2

曝光波長 （nm）

直寫光束的標(biāo)準(zhǔn)波長為405nm（來源于GaN固體激光）。對于生物化學(xué)應(yīng)用可選配325nm波長（來源于He-Cd 氣體激光）。

405

405

405

325, 375, 405&375

防護(hù)層曝光

包含所有標(biāo)準(zhǔn)的含防護(hù)層的膜（鉻或氧化鐵）。除了掩膜直寫，本系統(tǒng)也適用于在zui終基板上進(jìn)行無膜直接套寫（硅、GaAs、InP、微波\低溫\生物學(xué)基板等）。

Yes

Yes

Yes

-

在LDW 玻璃上曝光

LW405能套寫過程基板如激光直寫（LDW）玻璃膜（詳見http://www.canyonmaterials.com/ldw.html）

Yes

Yes

Yes

-

曝光能量穩(wěn)定劑

持續(xù)監(jiān)測曝光水平使其在整個(gè)直寫過程中保持穩(wěn)定。對于灰度曝光，持續(xù)保持參考水平。

Yes

Yes

Yes

-

灰度能力

也提供可變的像素對像素曝光（灰度套寫）用于制造衍射光學(xué)和MEMs等。

Yes

Yes

Yes

-

可變分辨率

顯微光刻步驟中，有些過程可以利用減少的平面分辨率。典型的例子是使用粗糙表面作為基板（如：鋁）。激光直寫系統(tǒng)分辨率的改變是通過替換光束聚焦器件來實(shí)現(xiàn)，過程只需幾秒鐘。

Yes

Yes

Yes

-

潔凈室組裝

每個(gè)光學(xué)器件、機(jī)械及電子子系統(tǒng)在組成激光直寫單元之前都經(jīng)過仔細(xì)的清洗消毒。每個(gè)單元都是在潔凈室內(nèi)進(jìn)行組裝及測試，以此將在操作環(huán)境中顆粒釋放的可能性降到zui低。

Yes

Yes

Yes

-

用作基板檢查站

每套系統(tǒng)包括一個(gè)CCD攝像頭以及相關(guān)的照明系統(tǒng)。使操作者可以使用激光直寫作為一套表面檢查和計(jì)量的系統(tǒng)。還包含一個(gè)高分辨率的電子攝像頭以及相關(guān)的在線圖像捕捉和處理系統(tǒng)。

Yes

Yes

Yes

-

激光聚焦

激光直寫包含一套全自動聚焦跟蹤系統(tǒng)?？捎糜趧討B(tài)保持激光束聚焦在基板上，即使是凹凸或傾斜的情況。

Auto

Auto

Manual

-

在非平面樣品上的直寫

這一選配用于低平整度或輕微凹凸基板上的顯微光刻操作。

Yes

Yes

No

-

在傾斜樣品上的直寫

套寫也可在輕微傾斜的樣品上進(jìn)行（zui大2°）。主要用于研發(fā)環(huán)境，如被粘在大尺寸夾具上的小樣品。盡管樣品本身是平面的，但是不平整的膠水層在激光束照射下仍能影響正交。在這種情況下，操作者能輕易指令機(jī)器在直寫過程中按照基板的平面進(jìn)行。

Yes

Yes

No

-

標(biāo)記準(zhǔn)直

如果選擇無膜過程，所有不同的顯微光刻過程都在同一個(gè)工作樣品上進(jìn)行。為了使不同層圖案互相對其，在LaserDraw軟件包中包含一個(gè)特殊的步驟。每個(gè)新的圖案水平與樣品上已有的參考圖案相對齊。

Yes

Yes

Yes

-

可選擇的全手動控制

全手動控制模式在系統(tǒng)作為檢驗(yàn)和計(jì)量站以及用于人工修整和光處理時(shí)很有用。

Yes

Yes

Yes

-

CIF, DXF, GDSII 數(shù)據(jù)格式

激光直寫由MICROTECH專有的數(shù)據(jù)格式驅(qū)動—LDF（LaserDraw Format）—可由各種工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)語言自動轉(zhuǎn)換，如 CIF, DXF, GDSII。

Yes

Yes

Yes

-

光柵直寫模式

標(biāo)準(zhǔn)的套寫方式是基于光柵掃描結(jié)合光束-基板移動（光束掃描模式或者基板掃描模式）

Yes

Yes

Yes

-

矢量直寫模式

在特定應(yīng)用是可選擇純矢量模式。

Yes

Yes

Yes

-

地面振動隔離

該系統(tǒng)可直接安裝在地面上。標(biāo)配含有被動振動隔離腳架。主動振動隔離可選配，通常用于臺式安裝。

Yes

Yes

No

Active

操作人員培訓(xùn)時(shí)間（小時(shí)）

提供負(fù)責(zé)人員的操作培訓(xùn)，由MICROTECH工程師直接監(jiān)管。

6

6

6

-

激光光刻課程 （hours）

針對所有系統(tǒng)，提供關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)和激光光刻的專業(yè)課程。該課程在設(shè)備安裝調(diào)試后，直接在客戶現(xiàn)場進(jìn)行。

Yes

Yes

Yes

-

安全聯(lián)鎖裝置和CE標(biāo)志

提供本地及遠(yuǎn)程緊急停止按鈕和聯(lián)鎖。所有系統(tǒng)組成符合規(guī)定并持有CE標(biāo)志保證安全操作及電磁兼容。

Yes

Yes

Yes

-