Mitutoyo顯微鏡三豐FS70L4-TH 378-167-3

·帶目鏡觀察部的小巧顯微鏡單元

適用于金屬表面和半導(dǎo)體、液晶、樹脂等各種觀察對象。

·適用于使用YAG激光(近紅外、可見、近紫外、紫外)的微細(xì)加工※　 ※不保證激光系統(tǒng)產(chǎn)品的性能和安全性。

半導(dǎo)體電路的切割、修整、修正、打標(biāo)、薄膜(絕緣膜)的去除和加工、液晶彩色濾光片等的修復(fù)(修正缺陷)等。

并適合作為半導(dǎo)體故障分析用探針臺的光學(xué)觀察部分。

·適用于紅外光學(xué)系統(tǒng)※

硅類的內(nèi)部觀察、紅外光譜特征分析等?！硇杓t外光源和紅外攝像機(jī)等。

·推出了適用于明視場、暗視場、簡易偏光、微分干涉觀察的機(jī)型

·反射照明光學(xué)系統(tǒng)標(biāo)配帶孔徑光闌科勒照明

·通過采用內(nèi)部轉(zhuǎn)塔和長工作距離物鏡，確保了在顯微鏡下的高操作性

■規(guī)格

標(biāo)準(zhǔn)目鏡規(guī)格

型號FS70Z － FS70ZD FS70L FS70L4

貨號378-165-1 － 請咨詢378-166-1 378-167-1

可變角度

目鏡規(guī)格

型號－ FS70Z-TH FS70ZD-TH FS70L-TH FS70L4-TH

貨號－ 378-165-3 請咨詢378-166-3 378-167-3

觀察成像明視場、簡易偏光、微分干涉 /正像明視場、簡易偏光/正像

目鏡(必選件) 10×(視場數(shù)24)、15×(視場數(shù)16)、20×(視場數(shù)12)

鏡筒

三目鏡筒

視場數(shù)24

可調(diào)瞳距西登托夫型，調(diào)節(jié)范圍：51～76mm

俯角0～20°(-TH)，眼點移動量約114mm

光路

固定式

(目鏡/TV＝50%/50%)

切換式

(目鏡/管徑＝99%/0%：

0%/99%)

固定式

(目鏡/TV＝50%/50%)

切換式

(目鏡/管徑＝99%/0%：0%/99%)

相機(jī)接口

卡口部

C-Mount(使用適配器B※1)

使用適配器B進(jìn)行齊焦調(diào)節(jié)

C-Mount規(guī)格

(齊焦調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu))

C-Mount規(guī)格

(帶綠色濾光片切換功能) (齊

焦調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu))

防護(hù)濾光片－ 內(nèi)置激光濾光片

成像(鏡筒)透鏡內(nèi)置1～2×(可見校正)變焦

內(nèi)置1×(近紅外～可見～近紫

外校正) 內(nèi)置1×(可見、紫外校正)

激光接口

光學(xué)系統(tǒng)

－

倍率：1× 波長：

355/532/1064nm 倍率：1× 波長：266/532nm

卡口部分YAG激光振蕩器

可配備(基波、2次/3次諧波)

YAG激光振蕩器

可配備(2次、4次諧波)

聚焦

部分

粗調(diào)單軸粗微調(diào)(粗調(diào)：3.8mm/圈，微調(diào)：0.1mm/圈)

移動量50mm、左右手柄

反射照明光學(xué)系統(tǒng)明視場落射照明(科勒照明、帶孔徑光闌)

照明裝置(選件) 12V100W光纖照明裝置(No.378-700DC)/15V150W光纖照明裝置(76-316DC)均為無級旋鈕調(diào)光式，

光導(dǎo)長度=1500mm

轉(zhuǎn)塔(必選件) 調(diào)心齊焦手動轉(zhuǎn)塔4孔

/調(diào)心電動轉(zhuǎn)塔5孔

手動轉(zhuǎn)塔4孔

/電動轉(zhuǎn)塔4孔

調(diào)心齊焦手動轉(zhuǎn)塔4孔

/調(diào)心電動轉(zhuǎn)塔5孔

物鏡

(必選件)

觀察用

M Plan Apo

M Plan Apo HR

M Plan Apo SL

G Plan Apo

BD Plan Apo

BD Plan Apo HR

BD Plan Apo SL

M Plan Apo

M Plan Apo HR

M Plan Apo SL

G Plan Apo

激光

加工用

－

M/LCD Plan Apo NIR

M/LCD Plan Apo NUV

※根據(jù)激光振蕩器的使用波長選擇

M Plan UV

鏡筒部承重※2 約14kg(-TH：約13.2kg) 約13.9kg(-TH：約13.1kg)

外觀尺寸參照P.27

主體重量6.6kg(-TH：7.4kg) 6.7kg(-TH：7.5kg)

※1：選裝?！?：不包括轉(zhuǎn)塔、物鏡、目鏡的重量。

注)使用物鏡M Plan Apo 1×?xí)r，建議搭配使用偏光裝置(No.378-092或378-094)。

注)在FS70L、FS70L4上安裝YAG激光振蕩器使用時，

　 ·請注意激光輸入值和能量密度等。否則可能會導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)受損。