OTF-1200X-VT-USPA是一款帶超聲霧化以及進(jìn)料系統(tǒng)的雙溫區(qū)立式管式爐，其爐管直徑可制作為100mm。它可以將氣體或者溶液霧化后噴入加熱爐管中，因此也可以用來(lái)制備PVD、CSS或CVD涂層。采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1 ℃。爐體下端安裝有一移動(dòng)架以方便移動(dòng)。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱(chēng) 帶超聲霧化以及進(jìn)料系統(tǒng)的1200℃立式爐-OTF-1200X-VT-USPA 管式爐系統(tǒng) 雙溫區(qū)立式管式爐可用于加熱樣品。 容積式喂料器可將固態(tài)粉料不斷送入管式爐中進(jìn)行連續(xù)燒結(jié)或熱處理。 超聲霧化模塊可利用低振動(dòng)能量將液體霧化，之后利用自重或低壓壓縮空氣噴入管式爐中。 立式管式爐 容積喂料器 超聲霧化模塊 工作功率 總功率6KW 每個(gè)溫區(qū)：3KW 工作電源 AC 208-240單相，50/60Hz 工作溫度 1200℃（<1hr）每個(gè)溫區(qū) 連續(xù)工作溫度 1100℃每個(gè)溫區(qū) 加熱速率 ≤20℃/min 控溫精度 ±1℃ 爐管尺寸和材質(zhì) 包含一長(zhǎng)度為1000mm的石英管。 OD：100mm，ID：95mm。 氧化鋁管堵可懸掛在頂部法蘭處避免熱輻射。 爐管升級(jí)：如客戶(hù)另付費(fèi)用，可用莫來(lái)石管（60mm-100mm）代替石英管，管式爐的使用溫度可升至1250℃ 加熱區(qū)長(zhǎng)度 200mm（溫區(qū)1） 200mm（溫區(qū)2） 總加熱長(zhǎng)度：400mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 300mm（兩溫區(qū)設(shè)置同樣溫度） 溫控系統(tǒng) 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序。 具有超溫及斷偶報(bào)警功能。 通信端口：RS485。 可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集。 真空密封法蘭 爐管兩端裝有不銹鋼密封法蘭，真空計(jì)和閥門(mén)。 氣體出氣口與KF25D相連接。 氣體進(jìn)氣口與6.35軟管相連接。 上端密封法蘭內(nèi)部焊有不銹鋼勾，用于客戶(hù)懸掛樣品。 如想增加抽氣速率以便獲得較高的真空，建議您將標(biāo)配的軟管接頭更換成KF25轉(zhuǎn)接頭（如左圖）。 如需要子啊惰性或還原性氣體條件下使用，建議您將標(biāo)配的軟管接頭更換成VCR雙卡套接頭（如左圖）。 真空度 10E-2 torr（用機(jī)械泵） 10E-5 torr（用分子泵） 漏氣率<5 mTorr/min 加熱元件 1300℃摻鉬鐵鉻鋁 設(shè)備尺寸 550 L×380 W×520 H mm（不含移動(dòng)架） 600 L×600 W×1200 H mm（包含移動(dòng)架） 凈重 約80kg（不含移動(dòng)架） 運(yùn)輸尺寸 48”（L）×40”（W）×72”（H） 質(zhì)保期 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（相關(guān)耗材除外，如爐管加熱元件密封圈易耗件） 質(zhì)量認(rèn)證 CE認(rèn)證。 所有電器元件（>24V）都通過(guò)UL/MET/CSA認(rèn)證。 若客戶(hù)出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證 應(yīng)用注意事項(xiàng)（為滿(mǎn)足客戶(hù)應(yīng)用要求，可另加費(fèi)用為您定制特殊法蘭） 客戶(hù)在使用前可能會(huì)校準(zhǔn)溫度來(lái)獲得準(zhǔn)確的爐內(nèi)溫度。 請(qǐng)點(diǎn)擊下圖來(lái)了解如何利用立式爐在真空或者氣氛環(huán)境下進(jìn)行樣品的淬火。 方法1：采用傳統(tǒng)的剪斷懸掛線(xiàn)的方式是的樣品自由落下（如圖1、2） 方法2：采用電磁釋放的方式使得樣品自由落下（如圖3、4） 圖1 圖2 圖3 圖4 可定制一樣品基座，將本系統(tǒng)升級(jí)為—HPCVD（混合物理化學(xué)氣沉積）爐（圖5） 可對(duì)尺寸小于1英寸的樣品進(jìn)行釬焊（在樣品上方加一載重）（圖6） 3溫區(qū)立式爐也可以用于該系統(tǒng)中（圖7） 圖5 圖6 圖7 警告 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa； 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時(shí)會(huì)更加精確安全； 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)； 進(jìn)入爐管的氣壓流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊； 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃； 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。
采購(gòu)中心
