工藝流程簡介

環(huán)境空氣經(jīng)壓縮凈化，除去油、水、塵后，進入由兩個裝填有碳分子篩的吸附塔組成的變壓吸附裝置。壓縮空氣由下至上流經(jīng)吸附 塔，其間氧分子在碳分子篩表面吸附，氮氣由吸附塔上端流出，進入粗氮緩沖罐，經(jīng)過一段時間后，吸附塔中碳分子篩被吸附的氧飽和，需進行再生。再生是通過停止吸附步驟，降低吸附塔壓力來實現(xiàn)的。兩個吸附塔交替進行吸附和再生，從而確保氮氣的連續(xù)輸出。

變壓吸附制氮裝置工藝流程圖

技術(shù)特點

1、原料空氣取自自然，只需提供壓縮空氣和電源即可制取氮氣。設(shè)備能耗低，運行成本費用少。

2、氮氣純度調(diào)整方便，氮氣純度只受氮氣排氣量的影響，普通制氮純度在90%－99.999%之間任意調(diào)節(jié)；高純度制氮機可在99%－99.999%之間任意調(diào)節(jié)。

3、設(shè)備自動化程度高，產(chǎn)氣快，可無人值守。啟動、關(guān)機只需按一下按鈕，開機20-40分鐘內(nèi)即可產(chǎn)生氮氣。

4、設(shè)備工藝流程簡單，設(shè)備結(jié)構(gòu)外形緊湊，占地面積小，設(shè)備裝置適應(yīng)性強。

5、暴風雪法裝填分子篩，避免高壓氣流沖擊導(dǎo)致分子篩粉化現(xiàn)象，確保分子篩長時間使用。

6、數(shù)顯流量計帶壓力補償、高精度的工業(yè)過程監(jiān)控二次儀表，具有瞬時流量及累積計算的功能。

7、在線分析儀濃度檢測，高精度，免維護。

8、不合格氣動自動放空，無需人為，保證工作效率。

9、可設(shè)計不合格純度報警，

10、預(yù)留PLC的通訊接口（RS485），與買方上位機通訊。

技術(shù)指標參數(shù)：

流量：3~2000nm³/hr

純度：≥95-99.999%

壓力：0.01-0.8Mpa(以內(nèi)可調(diào))

露點：-45℃

氧含量：≤5ppm

過濾精度：0.001ppm

行業(yè)應(yīng)用范圍

1、半導(dǎo)體封裝行業(yè)應(yīng)用
用氮氣封裝、燒結(jié)、退火、還原、儲存。宏博變壓吸附制氮機協(xié)助業(yè)類各大廠家