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直線式勞埃透鏡鍍制機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京中科科美科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/5/30 11:02:13
  • 訪問次數(shù)251
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北京中科科美科技股份有限公司是直屬企業(yè)北京中科科儀股份有限公司的控股子公司,是專門從事真空系統(tǒng)集成產(chǎn)品設(shè)計、制造、銷售和服務的國家企業(yè),為客戶提供真空系統(tǒng)整體解決方案和一站式服務,包括真空集成系統(tǒng)的總體設(shè)計、工程實施、設(shè)備安裝、技術(shù)服務等。公司主營業(yè)務分為空間環(huán)境模擬裝置、充氣回收檢漏系統(tǒng)、新能源真空應用系統(tǒng)和大科學工程真空配套四大類別。公司的客戶行業(yè)涉及航空航天、新能源(太陽能和核能)、新興裝備制造、科研院所、大科學工程、工業(yè)鍍膜、汽車制造、電子、低溫、超導、電氣檢測等多個領(lǐng)域。公司擁有的裝備制造實力,通過了ISO質(zhì)量管理體系和中核供應商體系認證,擁有3項發(fā)明及三十余項實用新型,曾參與:神光Ⅲ、北京高能同步輻射光源、特高壓蘇通GIL綜合管廊工程、江門中微子探測等國家大科學工程項目的實施,在真空領(lǐng)域具有的技術(shù)實力。中科科美致力于發(fā)展成為、具有國際競爭力的真空系統(tǒng)集成整體解決方案供應商,實現(xiàn)與客戶的共同成長!
檢漏設(shè)備
直線式勞埃透鏡鍍制機,是為高能同步輻射光源(HEPS)研發(fā)的儀器裝備,用于制備硬X射線納米聚焦的勞埃透鏡膜層。最主要的特點是膜層層數(shù)多(數(shù)千層甚至更多)且膜層位置和厚度精度高(總位置平均誤差小于±5nm,每層的厚度誤差小于0.1nm)。為了保證每個膜層的厚度精度,采用磁控濺射技術(shù)來實現(xiàn)膜片的制備,其優(yōu)點是,能夠精確控制膜層厚度,重復性好,薄膜與基片結(jié)合緊密,薄膜純度高、致密性好。
直線式勞埃透鏡鍍制機 產(chǎn)品信息

  直線式勞埃透鏡鍍制機,是為高能同步輻射光源(HEPS)研發(fā)的儀器裝備,用于制備硬X射線納米聚焦的勞埃透鏡膜層。最主要的特點是膜層層數(shù)多(數(shù)千層甚至更多)且膜層位置和厚度精度高(總位置平均誤差小于±5nm,每層的厚度誤差小于0.1nm)。為了保證每個膜層的厚度精度,采用磁控濺射技術(shù)來實現(xiàn)膜片的制備,其優(yōu)點是,能夠精確控制膜層厚度,重復性好,薄膜與基片結(jié)合緊密,薄膜純度高、致密性好。

  性能參數(shù):

  進樣室

  本底極限真空度<8×10-5Pa

  腔室漏率<1×10-7Pa.L/s

  基板加熱溫度≥500℃

  沉積室

  極限真空度:<8×10-6Pa

  腔室漏率<1×10-8Pa.L/s

  靶位個數(shù)≥9個

  靶與樣品間距離60~100mm手動可調(diào)

  單個電源可切換的靶位個數(shù)≥4個

  基板加熱溫度≥200℃

  運動系統(tǒng)速率穩(wěn)定性≤0.1% /300mm

  運動系統(tǒng)直線度≤30μm/300mm

  檢測室

  極限真空度:<8×10-6Pa

  腔室漏率<1×10-8Pa.L/s

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