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  • 直線式勞埃透鏡鍍制機(jī)
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品牌

廠商性質(zhì)

其他

型號

訪問次數(shù)

263

產(chǎn)地

北京市

更新時(shí)間

2024/5/30 11:02:13

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產(chǎn)品簡介

直線式勞埃透鏡鍍制機(jī),是為高能同步輻射光源(HEPS)研發(fā)的儀器裝備,用于制備硬X射線納米聚焦的勞埃透鏡膜層。最主要的特點(diǎn)是膜層層數(shù)多(數(shù)千層甚至更多)且膜層位置和厚度精度高(總位置平均誤差小于±5nm,每層的厚度誤差小于0.1nm)。為了保證每個(gè)膜層的厚度精度,采用磁控濺射技術(shù)來實(shí)現(xiàn)膜片的制備,其優(yōu)點(diǎn)是,能夠精確控制膜層厚度,重復(fù)性好,薄膜與基片結(jié)合緊密,薄膜純度高、致密性好。

直線式勞埃透鏡鍍制機(jī)詳細(xì)信息

  直線式勞埃透鏡鍍制機(jī),是為高能同步輻射光源(HEPS)研發(fā)的儀器裝備,用于制備硬X射線納米聚焦的勞埃透鏡膜層。最主要的特點(diǎn)是膜層層數(shù)多(數(shù)千層甚至更多)且膜層位置和厚度精度高(總位置平均誤差小于±5nm,每層的厚度誤差小于0.1nm)。為了保證每個(gè)膜層的厚度精度,采用磁控濺射技術(shù)來實(shí)現(xiàn)膜片的制備,其優(yōu)點(diǎn)是,能夠精確控制膜層厚度,重復(fù)性好,薄膜與基片結(jié)合緊密,薄膜純度高、致密性好。

  性能參數(shù):

  進(jìn)樣室

  本底極限真空度<8×10-5Pa

  腔室漏率<1×10-7Pa.L/s

  基板加熱溫度≥500℃

  沉積室

  極限真空度:<8×10-6Pa

  腔室漏率<1×10-8Pa.L/s

  靶位個(gè)數(shù)≥9個(gè)

  靶與樣品間距離60~100mm手動可調(diào)

  單個(gè)電源可切換的靶位個(gè)數(shù)≥4個(gè)

  基板加熱溫度≥200℃

  運(yùn)動系統(tǒng)速率穩(wěn)定性≤0.1% /300mm

  運(yùn)動系統(tǒng)直線度≤30μm/300mm

  檢測室

  極限真空度:<8×10-6Pa

  腔室漏率<1×10-8Pa.L/s

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