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產品簡介
激光干涉儀采用相移技術準確表征被測表面的三維形貌，測量精度高達 0.06um 甚至更高，廣泛用于平面光學元件高精度檢測。
4吋激光干涉儀詳細信息
4吋激光干涉儀
激光干涉儀采用相移技術準確表征被測表面的三維形貌，測量精度高達 0.06um 甚至更高，廣泛用于平面光學元件高精度檢測。
應用
廣泛用于平面光學元件高精度檢測。
特點
1. 準確測量 100mm 口徑以下的光學元件的透射波前、反射波前。
2. 測量精度和測量重復性能媲美美國 Zygo 和 4D 干涉儀。
3. 根據客戶要求定制開發(fā)。
-
技術指標
項目
型號
測量方式
菲索干涉原理
移相方式
波長移相或機械移相
主機波長
632.8nm (可定制)
主相機分辨率
2048*2048
測量口徑
4-inch(101.6mm)
主相機調焦能力
有
主相機采集速度
50Hz
透射平面參考鏡面形誤差(PV)
λ/10
反射平面參考鏡面形誤差(PV)
≦ λ/10(可定制 λ/20)
空腔精度(PV)
≦ λ/10， λ=632.8nm
面形誤差測量重復性(RMS)
≦ 1nm (2δ)
測量高平行度光學元件透、反射波前
支持
標準配件
計算機 、條紋監(jiān)視及分析軟件
相干長度
1.0m (若被擴束，此參數會變長)
工作溫度要求
22℃ ±1℃
工作溫度波動要求
每小時變化小于 1℃
工作濕度要求
55%±10%RH
隔震要求
氣浮平臺，固有頻率：1-2Hz
工作電壓
AC 110-220V,50/60Hz
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