低溫等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

低溫等離子原理為：在外加電場的作用下，介質放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影踩晃镔|，或使性能穩(wěn)定物質轉變成低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得好速度適宜。作為環(huán)境污染處理行業(yè)中的一項具有較強潛在優(yōu)勢的技術，等離子體受到了眾多地區(qū)相關學科界的高度關注。

低溫等離子體技術在廢氣處理中的應用隨著工業(yè)經(jīng)濟的發(fā)展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業(yè)產(chǎn)生的揮發(fā)性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環(huán)境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產(chǎn)生很大的危害；另外工業(yè)煙氣的無控制排放使公共性的大氣環(huán)境日益惡化，酸雨(主要來源于工業(yè)排放的硫氧化物和氮氧化物)的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生態(tài)環(huán)境的破壞，重大災難頻繁發(fā)生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經(jīng)濟、可行性強的處理方法勢在必行。

低溫等離子凈化器廣泛應用于化工廠、橡膠廠、煉油廠、制藥廠、垃圾站等有廢氣產(chǎn)生的場合，此設備是利用能力好高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，進而產(chǎn)生臭氧。惡臭氣體利用排風設備輸入到UV低溫等離子凈化器后，運用能力好UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協(xié)同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，達到脫臭及殺滅 物質的目的，后通過排風管道排出室外。