等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz  射頻

功  率

0~500W   可調(diào)

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

石英、航空鋁（選配）

腔體內(nèi)部尺寸(MM)

360*800*650

腔體容積

150L

極板

4層

密封性

級焊接密封

泵

真空泵

干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計(jì)

薄膜硅

氣體流量計(jì)

＜±1% FS

氣路控制

2路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)

極限真空

3Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM（可調(diào)）

工藝氣體

Ar、N?O?、H?等等（可選）

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動控制；

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；

3、配方程序?yàn)?nbsp;0~99；

4、多級權(quán)限操作；

5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息；

6、存儲工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息；

7、報(bào)警信息提示及追溯；

8、圖形化界面檢測處理參數(shù)；

9、自動、手動操作可切換；

10、維護(hù)提示緊急停止按鈕；

11、門感應(yīng)器和真空互鎖；

12、機(jī)器運(yùn)行信號指示；

13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示；

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

1020*1700*1050(寬高深）

重  量

800KG

設(shè)施配置

電  力

五線，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA。

其  它

提供操作手冊、維護(hù)手冊、安裝手冊，易損件備件清單。