甲岸小型等離子去膠機(jī)外觀簡(jiǎn)潔，系統(tǒng)集成度高，模塊化設(shè)計(jì)，適用于半導(dǎo)體、生物技術(shù)、材料等領(lǐng)域。性能優(yōu)異，可提供***的工業(yè)控制、故障報(bào)警系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集軟件。可滿足科研生產(chǎn)的嚴(yán)格控制要求。

影響等離子去膠機(jī)使用的四大因素

一、調(diào)整合適的頻率

頻率越高，氧越容易電離形成等離子體。如果頻率過高，使電子振幅短于其平均自由程，電子與氣體分子碰撞的概率就會(huì)降低，導(dǎo)致電離率降低。通常，公共頻率為13.56MHz和2.45GHz。

二、調(diào)整適當(dāng)?shù)臋?quán)力

關(guān)于一定量的氣體，功率大，等離子體中活性粒子的密度也高，脫膠速度也快；但當(dāng)功率增加到一定值時(shí)，響應(yīng)消耗的活性離子達(dá)到飽和，脫膠速度隨功率的增加不明顯增加。由于功率大，襯底溫度高，需要根據(jù)技術(shù)要求調(diào)整功率。

三、調(diào)整合適的真空度

適當(dāng)?shù)恼婵斩瓤梢允闺娮舆\(yùn)動(dòng)的平均自由程更大，因此從電場(chǎng)中獲得的能量更大，有利于電離。此外，當(dāng)氧氣流量必須準(zhǔn)時(shí)時(shí)，真空度越高，氧氣的相對(duì)份額越大，活性顆粒濃度越大。但如果真空度過高，活性粒子的濃度反而會(huì)降低。

四、氧氣流量的調(diào)整

氧氣流量大，活性顆粒密度大，脫膠速率加快；但如果通量過大，離子的復(fù)合幾率增加，電子運(yùn)動(dòng)的平均自由程縮短，電離強(qiáng)度反而降低。如果回轉(zhuǎn)室的壓力不變，流量增加，則還增加了被抽出的氣體量，也增加了不參與回轉(zhuǎn)的活性顆粒量，因此流量對(duì)脫膠率的影響不是很顯著。

選擇【甲岸科技】等離子去膠機(jī)的理由：

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2、小巧、操作簡(jiǎn)單、易維護(hù)。

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