日立大型鎢燈絲掃描電鏡SU3900

【產(chǎn)品背景】

在以納米技術(shù)和生物技術(shù)為主的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域里，從物質(zhì)的微細(xì)結(jié)構(gòu)到組成成分，SEM在多種多樣的觀察與分析中得到了靈活應(yīng)用。SEM用途日益擴(kuò)大，但對(duì)于鋼鐵等工業(yè)材料和汽車零配件等超大/超重樣品，由于電鏡樣品臺(tái)能對(duì)應(yīng)的樣品尺寸和重量受到限制，所以觀察時(shí)需要進(jìn)行切割等加工。因此，對(duì)超大樣品不施以加工處理，便可直接觀察表面微細(xì)形貌和進(jìn)行各種分析則成為重要的課題。

近年來為了實(shí)現(xiàn)各種材料的高功能化和高性能化，需要觀察并優(yōu)化材料的微細(xì)結(jié)構(gòu)。目前SEM的應(yīng)用除了以往的研究開發(fā)以外，已擴(kuò)展到質(zhì)量和生產(chǎn)管理方面，使用頻率日益高漲。同時(shí)市場(chǎng)也對(duì)儀器的操作性能提出了更高的要求，以進(jìn)一步減輕操作人員的負(fù)擔(dān)。

此次發(fā)售的“SU3800”與“SU3900”，支持超大/超重樣品的觀察，特別是大型掃描電鏡“SU3900”，可選配最 大直徑300mm ^*1、最 大承重5kg樣品(比前代機(jī)型提高2.5倍^*2)的樣品臺(tái)，即使是超大樣品也無需切割加工即可觀察。

同時(shí)操作性能也得到了全面升級(jí)。樣品安裝完成后，通過自動(dòng)光路調(diào)整及各種自動(dòng)功能調(diào)整圖像，隨后可立即獲得樣品圖像，真正實(shí)現(xiàn)了快速觀察。

前代機(jī)型是僅僅通過CCD導(dǎo)航相機(jī)的單一彩色圖像尋找視野^*3。新機(jī)型則通過旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，分別拍攝樣品各個(gè)部分，再將各個(gè)圖像拼接成1張大圖像，實(shí)現(xiàn)了大視野的相機(jī)導(dǎo)航觀察，十分適用于超大樣品的大范圍觀察。

【主要特點(diǎn)】

(1) 支持超大/超重樣品測(cè)試

可搭載的最 大樣品尺寸：“SU3800” 標(biāo)配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對(duì)高度為80mm、重量為2kg的樣品。  “SU3900”作為日立的大型掃描電鏡，標(biāo)配可搭載直徑300mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對(duì)高度為130mm、重量為5kg(比前代機(jī)型提高2.5倍^*2)的樣品

(2) 支持大視野觀察

■“SU3800”與“SU3900”的觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm

■安裝有“SEM MAP”導(dǎo)航功能，只需在導(dǎo)航畫面上觀察目標(biāo)位置，即可移動(dòng)視野

■安裝有“Multi Zigzag”系統(tǒng)，可在不同的視野自動(dòng)拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像

(3) 通過自動(dòng)化功能提高操作性能

■通過自動(dòng)光路調(diào)整和各種自動(dòng)化功能，樣品設(shè)置完后立即可以開始觀察。關(guān)于圖像調(diào)整，自動(dòng)功能執(zhí)行時(shí)的等待時(shí)間比前代機(jī)型^*4縮短了三分之一以下

■安裝有“Intelligent Filament  Technology(IFT)”軟件，自動(dòng)監(jiān)控鎢燈絲^*5的狀況，顯示預(yù)計(jì)的更換時(shí)期。在長(zhǎng)時(shí)間的連續(xù)觀察和顆粒度解析等大視野分析時(shí)，也可避免長(zhǎng)時(shí)間測(cè)試過程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察。