光氧廢氣凈化設(shè)備是一種利用高能高臭氧UV紫外線光束和臭氧對(duì)廢氣進(jìn)行處理的設(shè)備。其工作原理主要包括以下幾個(gè)步驟：

裂解廢氣分子鏈：光氧廢氣凈化設(shè)備利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業(yè)廢氣如氨、硫化氫、甲硫醇、甲硫醚等的分子鏈結(jié)構(gòu)。這種高能紫外線光束可以將有機(jī)或無機(jī)高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉(zhuǎn)變成低分子化合物，如CO2、H2O等。

產(chǎn)生游離氧：同時(shí)，光氧廢氣凈化設(shè)備利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧。由于游離氧所攜正負(fù)電子不平衡，所以它需要與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。這個(gè)過程可以用以下化學(xué)方程式表示：UV+O2→O-+O*（活性氧），O+O2→O3（臭氧）。

協(xié)同分解氧化反應(yīng)：工業(yè)廢氣利用排風(fēng)設(shè)備輸入到本凈化設(shè)備后，凈化設(shè)備運(yùn)用高能UV紫外線光束及臭氧對(duì)工業(yè)廢氣進(jìn)行協(xié)同分解氧化反應(yīng)，使工業(yè)廢氣物質(zhì)其降解轉(zhuǎn)化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風(fēng)管道排出室外。在這個(gè)過程中，臭氧對(duì)有機(jī)物具有強(qiáng)的氧化作用，對(duì)工業(yè)廢氣及其它刺激性異味有清除效果。

催化作用：催化劑在受到紫外線光照射時(shí)生成化學(xué)活潑性很強(qiáng)的超氧化物陰離子自由基和氫氧自由基，攻擊有機(jī)物，達(dá)到降解有機(jī)物的作用。。