美國METONE標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生裝置255 校正的基本步驟

現(xiàn)假設(shè)對一臺常見的 Metone227B 作校正

•首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別，其測試原理一樣，但 Metone3413 流速為 1CFM （立方英尺 / 分鐘），而 Metone227B 則為 0.1CFM 。

•首先，請將潔凈臺開機，工作半小時，其間內(nèi)也打開 Metone227B 和 Metone3413 ，讓其預(yù)熱半小時。

•準(zhǔn)備好 255 的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

•將配好的標(biāo)準(zhǔn)液（如 0.301um ）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

•設(shè)置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數(shù)

•取樣時間都設(shè)置為 00 ： 01 ： 00

•取樣次數(shù)都設(shè)置 03

•取樣模式都設(shè)置為 Auto

•間隔時間都設(shè)置為 00 ： 00 ： 05

•讀數(shù)模式都設(shè)置為 Cumulative

注：以上設(shè)置相同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 測試結(jié)果會是 Metone227B 的 10 倍。

•此時，打開 255 電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計約 60SCFH 時后，保持其工作狀態(tài)。

•此時，讓 Metone227B 和 Metone3413 同時工作，看其三次的平均結(jié)果，若在 20% 以內(nèi)，視為合格。

•拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子，重復(fù)該測試。

•以上校正只是對比校正，尚可用萬用表對其基本參數(shù)測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調(diào)校。