設(shè)備特點(diǎn)

·設(shè)備骨架用不銹鋼制作，外包白色PP板

·隔板：在1#、2#槽和3#、4#之間有隔板，1#槽單獨(dú)排風(fēng)，防止1#槽中揮發(fā)得有機(jī)氣體與其他氣體混合發(fā)生反應(yīng)

·設(shè)備共有4個(gè)槽，按藥液槽內(nèi)，純水沖洗槽外和方便生產(chǎn)操作的一般工藝流程依次排列

·設(shè)備采用數(shù)顯時(shí)間繼電器，清洗時(shí)間可在1-9999秒范圍內(nèi)設(shè)定，結(jié)束時(shí)報(bào)警排風(fēng)系統(tǒng)通過(guò)設(shè)備后部夾層，從設(shè)備頂部接觸排氣管與用戶排氣系統(tǒng)連接成本

·氮四氟乙烯空1把/水槍1把 成本

·設(shè)有漏電、急停、液位、過(guò)溫等保護(hù)和報(bào)警裝置，保證設(shè)備的可靠成本

·適用于批量生產(chǎn)和科研試驗(yàn)

設(shè)備規(guī)格

·單臂結(jié)構(gòu)

·整體由機(jī)架，操作臺(tái)面，引風(fēng)裝置，機(jī)臺(tái)照明，電控單元及清洗槽體等組成

·本半導(dǎo)體硅片清洗設(shè)備的引風(fēng)裝置由引風(fēng)窗和排風(fēng)口所組成

·機(jī)臺(tái)臺(tái)面為多孔結(jié)構(gòu)，有利于操作臺(tái)面水液的排出和清潔

·照明采用20W照明燈管

·本半導(dǎo)體硅片清洗機(jī)每個(gè)槽體均有控制器進(jìn)行控制，其工藝參數(shù)均可單獨(dú)修改

·電控單元設(shè)備在機(jī)臺(tái)的左上部，控制鍵盤，啟停按鈕以及急停開(kāi)關(guān)均設(shè)置其上

·加熱槽體采用氟加熱管，有保溫裝置