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光伏半導(dǎo)體超純水制備

參考價(jià) 55590
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海濱潤(rùn)環(huán)??萍加邢薰?
  • 品       牌濱潤(rùn)
  • 型       號(hào)195-3903-0624
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2024/4/1 14:07:21
  • 訪問次數(shù)720
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上海濱潤(rùn)環(huán)??萍加邢薰咀詣?chuàng)建以來(lái),主要從事制藥,生物,保健品,化妝品,工業(yè),化工,醫(yī)院等純水,純化水,超純水,注射用水、中水回用、污水處理的成套設(shè)備,能提供從原水開始到合格純水,純化水,超純水,注射用水(包括用水點(diǎn))污水達(dá)標(biāo)排放的全套工藝設(shè)計(jì)、設(shè)備制造、安裝、調(diào)試及DQ、IQ、OQ文件資料等“交鑰匙”工程。公用工程(純蒸汽、潔凈壓縮空氣、氮?dú)猓┖凸に嚿a(chǎn)設(shè)備(CIP、SIP、自動(dòng)化系統(tǒng))的設(shè)計(jì)、施工和驗(yàn)證服務(wù)于一體的專業(yè)工程設(shè)備公司。
“專業(yè)、優(yōu)質(zhì)服務(wù)”是公司永恒的宗旨,堅(jiān)持“科技,優(yōu)質(zhì)高效,客戶至上,尊信守約”的理念以及質(zhì)量方針,為我們的客戶提供‘*’的產(chǎn)品和周到的服務(wù)是濱潤(rùn)環(huán)保每位員工始終不渝的奮斗目標(biāo)。我們所有的產(chǎn)品都有嚴(yán)格的質(zhì)量控制流程,在整機(jī)執(zhí)行元件的選配上也都采用,如:美國(guó)GF、美國(guó)GE、杭州南方、丹麥格蘭富、意大利FOUCS、西門子IONPURE、美國(guó)DOW、韓國(guó)LG等,確保整機(jī)長(zhǎng)期*運(yùn)行。
公司以其可靠的質(zhì)量、*的服務(wù)、技術(shù),為國(guó)內(nèi)外合作伙伴提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品以及貼心的服務(wù)。我們真誠(chéng)希望以滿腔的熱情,周到的服務(wù)與各界朋友共謀發(fā)展、再續(xù)輝煌。






純水設(shè)備,純凈水設(shè)備,純化水設(shè)備,去離子水設(shè)備,軟化水設(shè)備,中水回用設(shè)備,水廠、直飲水設(shè)備,反滲透設(shè)備,超濾成套設(shè)備,EDI電除鹽設(shè)備,超純水設(shè)備,混床成套設(shè)備 車用尿素設(shè)備
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 產(chǎn)品大小 中型
產(chǎn)品新舊 全新 反滲透系統(tǒng) 二級(jí)反滲透
結(jié)構(gòu)類型 立式 自動(dòng)化程度 全自動(dòng)
上海195濱3903潤(rùn)0624環(huán)??萍加邢薰咀詣?chuàng)建以來(lái),主要從事制藥,生物,保健品,化妝品,工業(yè),化工,醫(yī)院等純水,醫(yī)藥行業(yè)專用純化水設(shè)備 ,超純水的成套設(shè)備,能提供從原水開始到合格純水,純化水,超純水,注射用水(包括用水點(diǎn))的全套工藝設(shè)計(jì)、設(shè)備制造、安裝、調(diào)試及DQ、IQ、OQ文件資料等“交鑰匙”工程。光伏半導(dǎo)體超純水制備
光伏半導(dǎo)體超純水制備 產(chǎn)品信息

光伏半導(dǎo)體超純水制備

多晶硅超純水設(shè)備

主要用在多晶硅片清洗中,多晶硅片,半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來(lái)的油脂或纖維。無(wú)機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo);堿金屬如鈉等,引起嚴(yán)重漏電,顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等,會(huì)導(dǎo)致各種缺陷。

  為什么光伏行業(yè)晶體管、半導(dǎo)體集成電路清洗一定要用超純水

在晶體管、集成電路生產(chǎn)中,純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設(shè)備的冷卻水,配制電鍍液等。集成電路生產(chǎn)過程中的80%的工序需要使用高純水清洗硅片,水質(zhì)的好壞與集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)成品率關(guān)系很大。水中的堿金屬(KNa)會(huì)使絕緣膜耐壓不良,重金屬(AuAg、Cu)會(huì)使PN結(jié)耐壓降低,Ⅲ族元素(B、AlGa)會(huì)使N型半導(dǎo)體特性惡化,Ⅴ族元素(PAs、Sb)會(huì)使P型半導(dǎo)體特性惡化,水中細(xì)菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20-50%)會(huì)使P型硅片上的局部區(qū)域變?yōu)?/span>N型硅而導(dǎo)致器件性能變壞,水中的顆粒(包括細(xì)菌)如吸附在硅片表面,就會(huì)引起電路短路或特性變差。集成電路(DRAM)集成度16K的要求是電阻率16兆歐以上,集成電路(DRAM)集成度64K的要求是電阻率16兆歐以上,集成電路(DRAM)集成度256K的要求是電阻率≥17 MΩ•cm,集成電路(DRAM)集成度1M的要求電阻率≥18MΩ•cm,集成電路(DRAM)集成度4M的要求電阻率≥18MΩ•cm,集成電路(DRAM)集成度16M的要求電阻率≥18.2MΩ•cm

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

  JBT 7621-1994 電力半導(dǎo)體器件工藝用高純水

  GBT11446.1-2013電子級(jí)超純水中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

  GB6682-2000中國(guó)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室用水GB6682-2000

  ASTM D5127-2007美國(guó)電子和半導(dǎo)體水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

  GB/T 11446.3——1997 電子級(jí)水測(cè)試方法通則

  GB/T 11446.4——l997 電子級(jí)水電阻率的測(cè)試方法

  GB/T 11446.5——1997 電子級(jí)水中痕量金屬的原子吸收分光光度測(cè)試方法

  GB/T 11446.6——1997 電子級(jí)水中二氧化硅的分光光度測(cè)試方法

  GB/T 11446.7——1997 電子級(jí)水中痕量氯離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的離子色譜測(cè)試方法

  GB/T 11446.8——1997 電子級(jí)水中總有機(jī)碳的測(cè)試方法

  GB/T 11446.9——1997 電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法

  GB/T 11446.10——1997 電子級(jí)水細(xì)菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測(cè)試方法

  我司整合了國(guó)nei外先進(jìn)的工藝及技術(shù),采用預(yù)處理+雙級(jí)反滲透+EDI+雙級(jí)拋光混床+終端濾器。

  超純水一方面在于制水工藝,另外一個(gè)重要的方面在于超純水的輸送,我司采用PVDF材質(zhì)管道,保證終端用水點(diǎn)的水質(zhì)達(dá)到使用要求。

光伏半導(dǎo)體超純水制備


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