JIMA RT RC-05B是一款采用新半導(dǎo)體光刻技術(shù)制作的微型分辨率測試卡。它用于校準(zhǔn)和監(jiān)控系統(tǒng)分辨率，確保微焦點(diǎn)或納米焦點(diǎn)X射線檢測系統(tǒng)獲得高質(zhì)量的結(jié)果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米（3 µ m至50 µ m）的分辨率。這對應(yīng)于6微米和100微米（6 µ m和100 µ m）之間的焦斑尺寸。

16組I&T布局，2x2 mm，8x8 mm硅基，如上圖

下圖為尺寸為5 μm I&T的圖像

Au Slit的數(shù)量為3行和2個(gè)空格

寬度3至10 μm：T形布局

寬度15至50 μm：I形布局L/S寬度

L/S寬度：3、4、5、6、7、8、9、10、15、20、25、30、35、40、45、50 μm

JIMA RT RC-05B分辨率測試卡,JIMA分辨率測試卡實(shí)物拍攝圖：