該設(shè)備專為實驗室已有普通管式爐的用戶開發(fā)而成,僅需要用戶提供一下管子高度和直徑即可改造。底部配備可移動爐架,方便移動和擺放位置。等離子體發(fā)生器的電源功率有100、200、300、500、1000W等功率可選,射頻功率自動匹配,僅需一鍵操作即可啟輝。
| 射頻電源功率: | |
| 信號頻率: | 13.56 MHz±0.005% |
| 功率輸出范圍: | 5W-1000W可選 |
| 功率穩(wěn)定度: | ±0.1% |
| 整機效率: | >=70% |
| 功率因數(shù): | >=90% |
| 冷卻方式: | 強制風冷 |
| 真空部分: | |
| 功率: | 300W |
| 抽氣速率: | 2Ls |
| 極限真空: | 4X10-2Pa |
| 氣路系統(tǒng): | |
| 3路質(zhì)量流量計可選: | |
| 準確度: | ±1.5% |
| 重復精度: | ±0.2% |
| 工作壓差范圍: | 0.1~0.5 MPa |


















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