zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備chiller

半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。

zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備chiller

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）， 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預(yù)測控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制

zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備chiller

溫度范圍：-20°C~+90°C

控溫精度：±0.1℃

觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動小