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  • zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備chiller
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訂貨量 ≥1把
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廠商性質(zhì)

生產(chǎn)廠家

型號

訪問次數(shù)

411

產(chǎn)地

四川成都市

更新時間

2026/3/16 14:27:11

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zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備chiller產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)地 國產(chǎn) 產(chǎn)品新舊 全新
zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備chiller,半導(dǎo)體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù),并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。

zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備chiller詳細(xì)信息

zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備chiller

半導(dǎo)體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù),并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。


zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備chiller

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置,CMP(工藝機(jī)械拋光), 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

變頻控制,智能PID控制
預(yù)測控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制,高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制



zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備chiller

溫度范圍:-20°C~+90°C

控溫精度:±0.1℃

觸摸屏操作,人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動小







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