在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要

在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。 Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。 亮點 測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV) 測量穩(wěn)定，重復(fù)性好 高度集成的采樣裝置 模擬和數(shù)字輸出 安裝簡便 VCR 過程接口 設(shè)計緊湊小巧 顯示/報警單元可選
技術(shù)指標
傳感器 傳感器類型 密析爾陶瓷濕度傳感器 量程 -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C) 精度 ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) 分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C 壓力 10-9 torr; 24 MPa 氣體流量 1 ~ 5 Nl/min 電氣 電源 通常 24 V DC, 10 V ~ 28 V , 電流 25 mA 輸出 4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標配提供) 負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8) 輸出出錯狀態(tài) 標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 機械性能 傳感器套筒 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光 氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙 底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中 尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm 重量 Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g 包裝 Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨立包裝運輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作