ICP-MS分析特性
●  可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素
●  的檢出限（低至ppq級）
●  分析效益/成本比
●  最寬的線性動態(tài)范圍—可直接檢測從ppq到數(shù)百ppm濃度
●  譜線、干擾最小，準(zhǔn)確度和精密度好
●  需要樣品量很低(ul至ml)，分析速度很快（1?3分鐘/樣品）
●  檢測模式靈活多樣
半導(dǎo)體工業(yè)常用材料中超痕量污染物分析
固體：Si;GaAa單晶切片；石英、碳化硅等爐材料；高純金屬電極等
液體：超純水；HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
氣體：SiH4;TE0S;NF3;N2等
Agilent ICP-MS技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域包括：
●  環(huán)境樣品分析，包括自來水、地表水、地下水、海水以及各種土壤、廢棄物等的分析；
●  半導(dǎo)體材料分析
●  玻璃、陶瓷和礦冶等樣品分析；
●  地質(zhì)學(xué)研究；
●  生物食品及醫(yī)藥臨床研究；
●  核材料分析
●  石油化工樣品分析；
●  法醫(yī)應(yīng)用與研究；
●  最近，與分離技術(shù)聯(lián)用進行環(huán)境毒理、生命科學(xué)等領(lǐng)域的元素價態(tài)、形態(tài)分析成為ICP-MS技術(shù)應(yīng)用的一個焦點。