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產(chǎn)品簡介
| 從380nm~1050nm的可視光至近紅外實現(xiàn)大范圍波長區(qū)域中的分光測定 奧林巴斯的近紅外顯微分光測定儀USPM-RU-W可以高速&高精細地進行可視光區(qū)域至近紅外區(qū)域的大范圍波長的分光測定。 由于其可以很容易地測定通常的分光光度計所不能測定的細微區(qū)域、曲面的反射率,因此十分適用于光學元件與微小的電子部件等產(chǎn)品。 | |
使用一臺即可進行反射率、膜厚、物體顏色、透過率、入射角45度反射率的各種分光測定。
測定反射率
測定以物鏡聚光φ17~70μm的微小點的反射率。
反射率測定光路圖
反射率測定例:鏡片 反射率測定例:鏡片周邊部位
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膜厚測定的圖例 | 測定膜厚 |
| | 測定物體顏色 |
從受臺下部透過φ2mm的平行光,測定平面樣品的透過率。(選配)
透過率測定光路圖
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光學系圖 | 實現(xiàn)高速測定 使用平面光柵及線傳感器進行全波長同時分光測定,從而實現(xiàn)高速測定。 |
| 反射率測定圖例
| *適用于測定細小部件、鏡片的反射率 |
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消除背面反射光的原理 | 定反射率時,不需要背面防反射處理 |
可選擇的膜厚測定方法
根據(jù)測定的分光反射率數(shù)據(jù)進行單層膜或多層膜的膜厚解析??梢愿鶕?jù)用途選擇*佳的測定方法。
峰谷法膜厚解析經(jīng)過信息圖例
峰谷法
這是一種根據(jù)測定的分光反射率值的峰值與低谷的周期性計算出膜厚的方法,對于測定單層膜是有效的。不需要復雜的設置,可以簡單地求出。
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傅里葉轉換法膜厚解析經(jīng)過信息圖例 | 傅里葉轉換法 這是一種根據(jù)測定的分光反射率值的周期性計算膜厚的方法,對于單層膜及多層膜的測定有效。難以檢測出峰值及低谷等時,可以幾乎不受噪音的影響進行解析。 |
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曲線調整法膜厚解析經(jīng)過信息圖例 | 曲線調整法
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| | 通過測定球面、非球面的鏡片、濾鏡、反射鏡等光學元件的反射率,進行涂層評價、物體顏色測定、膜厚測定。 數(shù)碼相機鏡片 投影儀鏡片光讀取頭鏡片 眼鏡片 |
| | 適用于LED反射鏡、半導體基板等微小電子部件的反射率測定、膜厚測定。 半導體基板 |
| | 適用于平面光學元件、彩色濾鏡、光學薄膜等的反射率測定、膜厚測定、透過率測定。 光學薄膜 |
| | 適用于棱鏡、反射鏡等45度入射產(chǎn)生的反射率測定。 反射鏡 |
USPM-RU-W近紅外顯微分光測定儀規(guī)格:
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| 反射率測定 | 透過率測定*1 | 45度反射測定*1 | ||
| 名稱 | 近紅外顯微分光測定儀 | 近紅外顯微分光測定儀用 透過測定選配件 | 近紅外顯微分光測定儀用 45度反射測定選配件 | ||
| 型號 | USPM-RU-W | ||||
| 測定波長 | 380~1050nm | ||||
| 測定方法 | 對參照樣品的比較測定 | 對99%基準的透過率測定 | 對參照樣品的比較測定 | ||
| 測定范圍 | 參照下列對物鏡的規(guī)格 | 約?2.0mm | |||
| 測定 再現(xiàn)性(3σ)*2 | 反射率測定 | 使用10×、20×物鏡時 | ±0.02[%]以下(430-1010nm)、 ±0.2[%]以下(上述以外) | ±1.25[%]以下(430-1010nm)、 ±5.0[%]以下(左側記載除外) | |
| 使用40×物鏡時 | ±0.05[%]以下(430-950nm)、 ±0.5[%]以下(上述以外) |
| |||
| 厚膜測定 | ±1% | - | |||
| 波長顯示分解能 | 1nm | ||||
| 照明附件 | 專用鹵素燈光源 JC12V 55W(平均壽命700h) | ||||
| 位移受臺 | 承載面尺寸:200(W)×200(D)mm 承重:3 kg 工作范圍:(XY) ±40mm, (Z)125mm | ||||
| 傾斜受臺 | - | 承載面尺寸: 140(W)×140(D)mm 承重: 1 kg 工作范圍:(XT) ±1°, (YT) ±1° | |||
| 裝置質量 | 主體:約26 kg(PC除外) | 主體:約31 kg(PC除外)*3 | |||
| 控制電源箱:約6.7kg | |||||
| 裝置尺寸 | 主體部位:360(W)×446(D)×606(H)mm | 主體部位:360(W)×631(D)×606(H)mm | |||
| 控制電源箱:250(W)×270(D)×125(H)mm | |||||
| 電源規(guī)格 | 輸入規(guī)格:100-240V (110VA) 50/60Hz | ||||
| 使用環(huán)境 | 水平無振動的場所 溫度:15~30℃ 濕度:15~60%RH(無結露) | ||||
*1 選件組件 *2 本社測定條件下的測定 *3 裝配透過率測定套件與45度反射測定套件的總重量為33kg。
| 對物鏡 | |||
| 型號 | USPM-OBL10X | USPM-OBL20X | USPM-OBL40X |
| 倍率 | 10x | 20x | 40x |
| NA | 0.12 | 0.24 | 0.24 |
| 測定范圍*4 | 70μm | 34μm | 17μm |
| 工作距離 | 14.3mm | 4.2mm | 2.2mm |
| 樣品的曲率半徑 | ±5mm~ | ±1mm~ | ±1mm~ |
*4 點徑
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