MetOne3411便攜式空氣顆粒計數(shù)器適用于半導體潔凈室監(jiān)測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用。MetOne3411便攜式空氣顆粒計數(shù)器具有 ISO 21501 數(shù)據(jù)的準確性和再現(xiàn)性，是業(yè)內推廣使用的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數(shù)器。

MetOne3411便攜式空氣顆粒計數(shù)器適用于半導體潔凈室監(jiān)測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用。

MetOne3411便攜式空氣顆粒計數(shù)器具有 ISO 21501 數(shù)據(jù)的準確性和再現(xiàn)性，是業(yè)內推廣使用的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數(shù)器。

選擇MetOne3411便攜式空氣顆粒計數(shù)器的優(yōu)勢所在

? 可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計數(shù)器能讓排氣扇點塵不染

? 熱插拔電池-***確保儀器長時間連續(xù)運行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無論儀器是充電還是斷電、計數(shù)歸零及采用備份電源時都無需停機

? 測試向導（Test Wizard）能使您在組織潔凈室時讓合規(guī)性更容易得到保證
可在監(jiān)控您的半導體生產(chǎn)環(huán)境時節(jié)省時間并消除錯誤

? 順序采樣系統(tǒng)
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現(xiàn)場監(jiān)控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數(shù)器可依次從多達32個位置進行順序采樣。

? 靈活的通訊方式——設置簡單，數(shù)據(jù)傳輸方便
供選擇的無線，以太網(wǎng)和串口通訊可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)組ETONE數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，或者客戶已有監(jiān)控軟件，以便減少文書工作

? 直觀的用戶界面
簡便的區(qū)域，位置和運行參數(shù)的配置和復制，節(jié)約運行時間。只需將完整的配置拷貝到一個 U 盤中，從而消除參數(shù)設置錯誤，并節(jié)省時間。還可以在整個顆粒計數(shù)組部署采樣計劃！

? 符合ISO 21501-4 標準的可靠性和準確性
專用于滿足特殊顆粒計數(shù)要求，儀器與儀器之間的準確度和再現(xiàn)性符合 ISO21501-4標準要求。

MetOne3411便攜式空氣顆粒計數(shù)器的產(chǎn)品參數(shù)

通道個數(shù)	6
粒徑	0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
光源	氦氖激光器
重量	不含電池：15.9 公斤，電池：0.66 公斤
尺寸	33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (寬 x 長 x 高)
機箱材質	便于清洗的鈍化不銹鋼
流速	1.0 CFM (28.3 LPM)
零計數(shù)	ISO 21501-4 和 JIS B 9921 標準:5分鐘內1顆或少于一顆, 95% 置信區(qū)間
符合損失	在 50,000 /ft3 時，為5%，符合ISO 21501-4標準
泵的類型	可供連續(xù)使用的磚利的多瓣閉路循環(huán)控制泵
計數(shù)效率	在0.1 µm時為 50%。根據(jù)ISO 21501-4和JIS B 9921，粒徑大于0.15µm時為 99%
運行溫度	10 * 40°C; 相對濕度為10 * 90%，無冷凝
顯示	? VGA 彩色 TFT 觸摸屏
打印機	高速熱敏打印機
語言	英語，法語，德語，意大利語，西班牙語，韓語*，日語*，中文
可以顯示的*大數(shù)值	9,999,999 displayed
延遲時間	15秒鐘*23小時59分59秒
采樣/停留時間	1秒鐘*23小時59分59秒
計數(shù)警報	1~ 9,999,999 個計數(shù)值
位置	編號：0 * 999; 名稱:文字描述，顯示在打印輸出資料上
數(shù)據(jù)存儲	5,000 個樣品， 在歷史數(shù)據(jù)查看頁面上可以滾動(FIFO 或 Overflow)
輸出	USB 客戶端 (版本為 1.1)USB 主機端 (版本為 1.1)RS485 配有TCP/IP 通訊協(xié)議的以太網(wǎng)配有802.11g通訊協(xié)議的無線輸出 (可選)MET ONE 2432 型順序采樣系統(tǒng) (警報和掃描探頭)
鋰電池，可充電、可熱插拔	Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
輸入	空氣速度探頭，相對濕度/溫度探頭
自動 CDA 清洗	連接到CDA之后，清洗電磁閥會被激活
電源	24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 適配器
電池類型	智能鋰電池，可充電，可熱插拔
電池使用時間	*短 3 小時
電池的充電時間	電池的充電時間
包含電池數(shù)量	2組

MetOne3411便攜式空氣顆粒計數(shù)器的隨附配件

部件編號 描述 2087966-01 等動力探頭1.00 CFM，鍍鎳鋁制3/8“倒鉤接頭 960380 樣品管，內徑 3/8” ，長 10英尺 2088035-01 等動力探頭適配器，鋁制 970650 等動力探頭三腳架 230-300-7052 24VDC電源輸出 VP623500 電源線：115VAC, 6' L VP623501 電源線：115VAC, 6' L 2087939-01 零計數(shù)過濾器 1CFM 2087090 PortAll 軟件,CD 460519 打印紙，2卷 280-120-2024 2組鋰電池 210-400-5171 觸摸屏手寫筆 2088010-01 128M USD閃存驅動 410-150-0011 3針微型接線端子 410-420-0020 接線端子罩殼 490-200-0001 無線天線，附帶無線版本P / N 2088800-02

MetOne3411便攜式空氣顆粒計數(shù)器可選配件

部件編號 描述 CAL_GAS_3411 3411型的氣體校準，包括氦、氬、二氧化碳和氮氣 701241-01 3400系列IQ / OQ 驗證文件（CD） 2087966-02 等動力探頭1.0 CFM，不銹鋼制3/8“倒鉤接頭 2089406-01 等動力探頭支架 460519 打印紙（價格以每卷計） 280-300-5000 智能電源充電器 280-120-2024 智能鋰電池 2088928 溫度和相對濕度探針VAISALA HMP50 2087939-01 零點計數(shù)過濾器（1.0 CFM型） 460-400-4798 電纜，USB2.0 高速，1m 2084045-02 Particle Vision PortAll, 2.0.x版，套件，下載工具軟件，適配器和說明書（串行電纜需單獨購買） 700011-21 PortAll 許可標準版 2088000-01 過濾器掃描探頭（電子式）1 CFM 2088000-02 過濾器掃描探頭（無電子式）1 CFM 2088012-02 適配器，USB轉RS232，USB線纜 2088012-01 適配器，USB轉RS485，USB線纜 2080732-8 高壓擴散器，用于 1.0 CFM 設備。

MetOne3411便攜式空氣顆粒計數(shù)器的應用領域

專應用于半導體行業(yè)的空氣顆粒計數(shù)：
? 潔凈室驗證監(jiān)測
? 潔凈室的分級
? ISO14644潔凈室驗證
? 潔凈室顆粒物監(jiān)測
? 生產(chǎn)過程的連續(xù)監(jiān)測
? 顆粒污染源的排除過程
? HEPA過濾器檢漏，粒徑大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
? 過濾器掃描
? 高壓氣體監(jiān)測可簡單地通過氣體選擇菜單選擇相應氣體，流量會自動調整

空氣顆粒計數(shù)器生命科學標準及委員會：
? 國際標準化組織 (ISO)
? ISO14644潔凈室及相關受控環(huán)境
? ISO 21501顆粒分布測確定--用于無塵空間的光散射顆粒計數(shù)器
? 環(huán)境科學與技術研究所 (IEST)