產(chǎn)品簡介
生產(chǎn)的系列熱工設(shè)備：
L4811Ⅱ/RZQ立式真空燒結(jié)退火爐
【產(chǎn)品簡介】
真空燒結(jié)退火爐是為滿足半導體器件和磁性材料行業(yè)的大批量、高生產(chǎn)率的要求而設(shè)計的一種較*的燒結(jié)設(shè)備，主要用于管芯和管座的燒結(jié)，也可以做擴散，退火設(shè)備用。是生產(chǎn)半導體器件和磁性材料燒結(jié)、退火工序中的重要設(shè)備。
【產(chǎn)品特點】
●加熱元件均布爐膛內(nèi)，分布合理；
●爐蓋可設(shè)有熱風循環(huán)裝置，可使爐罐內(nèi)的氣氛及溫度均勻；
●可配真空泵抽氣，增加換氣速度，氣氛更純凈；
● 有保護氣氛，經(jīng)退火后產(chǎn)品無氧化，消除加工應力，提高鐵心磁性能，降低鐵損；
● 爐溫控制采用PID自動調(diào)功平滑控溫。
【主要技術(shù)指標】
|
| 立式真空燒結(jié)退火爐 | 雙工位立式真空燒結(jié)爐 | 臥式真空燒結(jié)退火爐 |
| 工作溫度 | 400--1250℃ | 800--1200℃ | 400--1250℃ |
| 單點溫度控制精度 | ≤±1℃/24h | ≤±2℃/24h | ≤±1℃/24h |
| 恒溫區(qū)長度及精度 | ≥200mm±1℃ | ≥400mm±1℃ | ≥400mm±1℃ |
| 升溫功率 | ≤12KVA | ≤22KW | ≤16KVA |
| 升溫時間 | (室溫至1050℃）≤75min | （室溫至1000℃）≤50min | （室溫至1100℃）＜75min |
| 保溫功率 | ≤6KVA | ≤11KVA | ≤8KVA |
| 重新定值重復性 | ≤±1℃ | ≤±1℃ | ≤±1℃ |
| 重開機 重復性 | ≤±1℃ | ≤±1℃ | ：≤±1℃ |
| 冷態(tài) 真空度 | 5*10-3Pa | 3*10-3 Pa | 5*10-3Pa |
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移動站：退火爐
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