氦質譜檢漏儀工作原理

利用真空排氣引起的內外壓差,通過感應到的流入工件或從工件流出的氦氣來檢測泄漏量。

使用氦氣作為檢漏介質原因：

• 氣體本身無害，且沒有危險

• 分子小，易從泄漏部位進入

• 空氣中的含量僅為約5 ppm，因此檢測錯誤的可能性極低（空氣中含量約0.007%）

氦質譜檢漏儀檢測方法

氦質譜檢漏儀采用270度偏轉方式分析管

分析管偏向角(90°?180°?270°)的不同決定了本底恢復的性能，同時實現高靈敏、高精度的檢測。

本底高速恢復，的背景恢復性能

本氦質譜檢漏儀采用的分析管270度偏轉方式，能分離、去除干擾源，不受氦以外氣體的影響，即使吸入了大量氦，本底也能快速恢復。

模擬制造10-5Pa·m3/s命令的泄漏，噴氦五分鐘測定直至1X10-11Pa·ｍ3/s的本底為止，需要花多長時間恢復？測試結果為: 0分56秒

測試端口氦排氣速度3L/s（50 Pa以下），實現高速測定時間穩(wěn)定性

• 氦排氣速度較高，有助于本低的快速穩(wěn)定及快速感應

• 在生產線中有助于縮短節(jié)拍時間

搭載非接觸型構造的干式真空泵

• 搭載無油/無塵/三年免維護的泵

• 微塵耐性高、本體小，無塵室

• 無需更換油旋轉真空泵的油，可防止漏油和排氣煙霧應