產(chǎn)品簡介
- 產(chǎn)品名稱：干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab
- 訂貨號：tlyon000292
- 品牌名稱：美國INFICON
如果您發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品信息不準確，歡迎糾錯；或咨詢相關(guān)類別、品牌產(chǎn)品，請聯(lián)系我們干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab
ULTRATEST™ 傳感器技術(shù)
穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界，
檢漏低達 10 -12 atm/css
The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設(shè)計用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。
通過結(jié)合較高氦氣抽氣能力和高進氣口壓力的真空結(jié)構(gòu)，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低達 < 5x10-12 atm cc/s。軟件 I-CAL（智能泄漏率計算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應(yīng)時間的煩惱，因為 UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。
使用額外的 TC1000 測試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 883，方法 1014）。
功能
- 15 級的寬測量范圍
- 較短的抽氣和響應(yīng)時間
- 移動式全金屬外殼，增加了便利性，具有可操作性
- I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供的泄漏響應(yīng)時間
- 抑零功能和自動積分時間校正，可提供快速、可靠的測試結(jié)果
- 含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
- 旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進行交互
- 自保護功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
- 自動吹掃循環(huán)可確保清理并隨時可進行測試
- 通過電子郵件進行軟件更新
- 含兩個燈絲離子源（3 年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運行時間和較低的維護成本
- 內(nèi)部校準用的內(nèi)置測試漏孔確保了精確的測試結(jié)果
典型應(yīng)用
- 對半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護作業(yè)，無論是否具有自有泵支持
- 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
- 在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏
- 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
- 內(nèi)置軟件菜單“自動測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動測試
規(guī)格
類型 Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab 氦氣（真空模式）可檢漏率 mbar•L/s <5E-12 氦氣（真空模式）可檢漏率 mbar•L/s <5E-12 氦氣（吸槍模式）可檢漏率 mbar•L/s 5E-8 MASSIVE 模式進氣口壓力 mbar 1000 GROSS 模式進氣口壓力 mbar 15 FINE 模式進氣口壓力 mbar 2 ULTRA 模式進氣口壓力 mbar 0.4 抽真空期間的抽氣能力 m³/h > 30 at 50 Hz 抽真空期間的抽氣能力 m³/h > 30 at 50 Hz GROSS 模式氦氣抽氣能力 L/s max. 8 FINE 模式氦氣抽氣能力 L/s 7 ULTRA 模式氦氣抽氣能力 L/s 2.5 ULTRA 模式氦氣抽氣能力 L/s 2.5 可檢測質(zhì)量數(shù) 2,3,4 amu 質(zhì)譜儀扇形場 180° 燈絲離子源銥/氧化釔涂層 2 內(nèi)置校準漏孔 mbar•L/s e-7 測試端口 DN 25 KF 1 可調(diào)觸發(fā)器 2
接口 2 x USB, Ethernet / LAN 接口 2 x USB, Ethernet / LAN 圖形記錄器輸出 V 2 x10 輸入/輸出 PLC compatible 輸入/輸出 Via I/O 1000 module 允許的環(huán)境溫度（操作過程中） °C +10.....+40 保護類型 IP 20 重量 120 重量 120 重量 120 尺寸（長x寬x高） mm 1050x472x987 尺寸（長x寬x高） 1050x472x987 電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz 電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz 電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz 電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz 功耗 VA 1100 功耗 VA 1100 零件號
Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號 明細 550-100A ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug 550-101A ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug 附件
Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab 零件號 明細 14005 SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸槍探頭，4 米長 14022 RC1000 extension cable, 8 m 14090 LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000 551-000 Toolbox, detachable,for UL1000 551-001 Helium Bottle Holder for UL1000/5000 551-002 ESD Mat for UL1000/5000 551-005 TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band 551-010 遙控器 RC1000C，有線，帶 4 米卷線 551-015 遙控器 RC1000WL，無線，包括無線發(fā)射機 551-020 RC1000WL 用無線發(fā)射機
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