密析爾 Pura 高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。Pura高純氣體露點(diǎn)變送器擁有堅固而獨(dú)立的傳感器，專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。

密析爾 Pura 高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀

在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測量露點(diǎn)值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppb_V)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。

Pura高純氣體露點(diǎn)變送器
這款小巧的變送器擁有堅固而獨(dú)立的傳感器，專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。
Pura使用和安裝簡單，可選兩線制、三線制和危險區(qū)域的型號，是一款可自定義的產(chǎn)品，可以滿足各種特殊需求。

亮點(diǎn)

• 測量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppb_V)
• 測量穩(wěn)定，重復(fù)性好
• 高度集成的采樣裝置
• 模擬和數(shù)字輸出
• 安裝簡便
• VCR 過程接口
• 設(shè)計緊湊小巧
• 顯示/報警單元可選

高純氣體微量露點(diǎn)變送器
在許多高純氣體的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體行業(yè)，氣體的殘留水分對于工藝操作的影響是至關(guān)重要。
根據(jù)以往的經(jīng)驗(yàn)，微量水分測量一直是一個難題，這需要使用復(fù)雜或昂貴的分析儀測量?，F(xiàn)在，密析爾推出了一款簡單、經(jīng)濟(jì)的產(chǎn)品，可以在線測量露點(diǎn)達(dá)-120°C （小于1ppb）。
Pura露點(diǎn)變送器的優(yōu)勢在于密析爾阻抗傳感器生產(chǎn)和校準(zhǔn)的經(jīng)驗(yàn)和專長。工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)材料和制造工藝結(jié)合的低成本變送器，適用于大規(guī)模集成半導(dǎo)體制造廠或高純氣體管線中。

使用簡單
這種獨(dú)立的變送器設(shè)計成可無縫接入純氣的過程應(yīng)用中，并可提供可靠的測量結(jié)果。
Pura的傳感器外殼是由冷拉不銹鋼制成，內(nèi)部采用0.25Ra μm，以達(dá)到最小的吸濕性，潔凈度達(dá)到清潔室標(biāo)準(zhǔn)。
該變送器交付完整的校準(zhǔn)和操作，并提供4-20mA的校準(zhǔn)輸出，能夠連接到密析爾的顯示模塊或控制系統(tǒng)。
該產(chǎn)品的設(shè)計具有最小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。這確保了過程應(yīng)用中最kuai的響應(yīng)速度，也保證了濕度測量時的最kuai響應(yīng)速度。傳感器密封墊圈可以在最小壓力10-9torr內(nèi)工作，同時整個系統(tǒng)可承受的最da壓力為240 Barg (3480 psi)。

安裝和操作簡便
Pura安裝簡單。¼”外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm，符合標(biāo)準(zhǔn)。整個產(chǎn)品的高度僅為150mm，重量小于500g。Pura是一個兩線或三線制的變送器，提供最da的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。

可選的顯示
假如應(yīng)用中需要顯示露點(diǎn)值或濕度值，Pura可以提供兩種顯示。顯示器可以很容易連接，也可以作為Pura的電源。

服務(wù)與校準(zhǔn)
密析爾為想要最少停機(jī)時間和設(shè)備可追溯性的用戶提供以下兩種服務(wù)：
傳感器替換 –用戶可以簽訂一個有保障的合同，可以更換傳感器。當(dāng)傳感器出現(xiàn)問題時，可以把更換下來的傳感器返回密析爾檢測，從而實(shí)現(xiàn)零停機(jī)時間。

校準(zhǔn) – 用戶將傳感器返回密析爾，密析爾會對返回的傳感器進(jìn)行檢查和校準(zhǔn)。這樣為過程中的傳感器就可以實(shí)現(xiàn)可追溯性。

陶瓷阻抗傳感器
Pura采用阻抗技術(shù)，是基于水分子的導(dǎo)電性。密析爾的陶瓷濕度傳感器采用具有的厚薄膜技術(shù)。
在半導(dǎo)體化的陶瓷基底上，均勻的敷涂了金屬導(dǎo)電層。導(dǎo)電層之間的感濕層能感受到氣體樣品中的水蒸氣分壓。水氣分壓決定了水分子進(jìn)入感濕層的水分子的數(shù)量，即對應(yīng)于導(dǎo)電層之間的阻抗值。露點(diǎn)值和水氣分壓有一一對應(yīng)關(guān)系。經(jīng)過校驗(yàn)，阻抗值和露點(diǎn)值的對應(yīng)關(guān)系建立起來，被儲存在變送器的芯片中。
傳感器采用半導(dǎo)體極的陶瓷材料作為基底，給予傳感器的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度和均勻特性。使密析爾濕度傳感器具備其他氧化鋁傳感器所的穩(wěn)定性。

技術(shù)指標(biāo)

傳感器 傳感器類型 密析爾陶瓷濕度傳感器 量程 -120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C) 精度 ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) 分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C 壓力 10-9 torr; 24 MPa 氣體流量 1 ~ 5 Nl/min 電氣 電源 通常 24 V DC, 10 V ~ 28 V , 電流 25 mA 輸出 4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供) 負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8) 輸出出錯狀態(tài) 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 機(jī)械性能 傳感器套筒 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙 底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中 尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm 重量 Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g 包裝 Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作