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產(chǎn)品簡介
| 國產(chǎn)程序 | SK-G06123K-L | SK-G06123K-2L |
| 溫區(qū) | 單溫區(qū) | 雙溫區(qū) |
| 溫度 | 1200℃ | |
| 加熱區(qū)長度 | 420mm | |
| 恒溫區(qū)長度 | 210mm | 280mm |
| 加熱元件 | 高電阻電熱合金絲OCr27Al7Mo2 | |
| 空爐升溫時間 | <15min | |
| 額定功率 | 3Kw | 3.2Kw |
| 工作電壓 | 220V | |
| 溫度控制 | 國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫;進口程序控溫系統(tǒng)可編輯40段程序控溫; | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 石英管尺寸 | Φ60/53x1000mm | |
| 爐管材料 | 石英玻璃管 | |
| 爐管工作溫度 | 1200℃ | |
| 配置爐管時升溫速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤2℃/min | |
| 外形尺寸(深x寬x高) | 590x420x1130mm | |
| 重量 | 55Kg | |
| 標準配置 | 氣路總成一套 (含真空壓力表)、石英管一支、鉤子一把、高溫手套一副 | |
| 真空/氣氛總成配套(可選) | 真空控制系統(tǒng): 中真空控制系統(tǒng)、高真空控制系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng); | |
| 氣路控制系統(tǒng):氣體浮子流量控制系統(tǒng)、氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng); | ||
| 計算機集散控制系統(tǒng); CVD電爐系統(tǒng); | ||
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