A100型氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于科研院所、航空航天、動力鋰電池，閥門、精密儀表、機(jī)械加工、電力、半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。

功能描述
支持正壓檢漏，負(fù)壓檢漏
自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結(jié)果
優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)
高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確保快速清氦
支持氮?dú)馄瓶?，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底
機(jī)器**的性能支持7*24小時(shí)長時(shí)間在線測試
機(jī)器**的性能支持幾秒一次的高頻率測試
配有檢漏口精細(xì)過濾器，過濾細(xì)微雜質(zhì)，確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷
雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，防大氣沖擊
支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用
技術(shù)參數(shù)
小可檢漏率（負(fù)壓模式） 5×10^-13Pa·m³/s
小可檢漏率（正壓模式） 1×10^-8Pa·m³/s
檢漏口壓強(qiáng) 粗檢 1500Pa
中檢 200Pa
精檢 40Pa
響應(yīng)時(shí)間 ＜1s
 

啟動時(shí)間 ≤3min

前級油泵抽速 16m³/h

外形尺寸（W×D×H） 845×465×988
 

重量 80Kg

常見泄漏率

檢漏方法示意圖

結(jié)構(gòu)圖