雙重石英管結(jié)構(gòu)

• 高純石英管
• 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
• 外管寸: 279 O.D x 269 I.D x 1300mm Length (11" O.D x 10.6" I.D x 48" 兩端打開，可以連接法蘭
• 內(nèi)管尺寸 : 216 OD x 206 IDx 750 mm Length (8.5"OD x 8.1"ID x30"L),一端封閉另一端連接到氣體入口和出口.

殼體結(jié)構(gòu)

• 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，使得殼體表面的溫度小于. < 70°C.
• 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，可以的減少熱量的損失.
• 加熱元件: NiCrAl電阻絲
• 儀器中包含兩個(gè)石英管塞，設(shè)備在加熱前必須放入爐管內(nèi)，防止熱量以熱輻射的形式散失

• 如果使用內(nèi)管進(jìn)行薄膜的生長(zhǎng)，那么可在8英寸的基片上

加熱區(qū)

• 總加熱區(qū)長(zhǎng)度： 900 mm (36")
• 三個(gè)溫區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)
• 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 500 mm（ 如果三個(gè)溫區(qū)在同一個(gè)溫度)

工作溫度

• 工作溫度 1100°C ( < 1 hour )
• 正常工作溫度: 200~1000°C
• 升溫速率& 降溫速率: 10°C/min
• 溫度均勻性
  

溫控系統(tǒng)

• 三個(gè)精密溫度控制器，采用PID方式控溫，并可設(shè)置30段升降溫程序，每個(gè)溫區(qū)可以進(jìn)行獨(dú)立控溫
• 熱電偶: 三根 K型熱電偶，每個(gè)溫區(qū)各一根
• 控溫精度: +/- 1°C
• SRC (Silicon Controlled Rectifier) power control
• 可選：PC控溫軟件，將溫度曲線和程序?qū)氲诫娔X中（另購(gòu)）

真空密封法蘭

• 儀器中包含有一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭，采用硅膠密封圈密封
• 真空度可以達(dá)到10^-2 torr（用機(jī)械泵）
• 左側(cè)法蘭：包括 化學(xué)汽相淀積進(jìn)氣口和冷卻氣體in&out端口
• 右側(cè)法蘭: KF40真空接口和: KF40真空閥門 直接于KF-40波紋管和真空泵相連接，（如想泵和KF-25接口相連接，需要另購(gòu)一個(gè)KF-40轉(zhuǎn)KF-25接頭）
  

電壓

• 單相 220V AC, 50/60 Hz
• 包含電源線插頭AWG 8#

功率

8KW (需50A空氣開關(guān))

外形尺寸

• 1300 L x 623 W x 940 H mm (51" L x 24.5" W x 37" H) (不包含真空法蘭）
• 1670 L x 623 W x 940 H mm (66" L x 24.5" W x 37" H) (包含真空密封法蘭)

凈重

200kg

運(yùn)輸尺寸

70" x 70" x 65"

運(yùn)輸重量

500Lbs (227kg)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管密封圈，加熱元件等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證